Автор, вуз, год написания неизвестны. 92с. Библ. 65 наим.
Содержание:
Введение Сравнительный анализ методов поверхностного модифицирования
Физические основы процесса ионной имплантации газов в металлы и сплавы
Основные характеристики метода ионной имплантации
Механизмы взаимодействия имплантируемых ионов с мишенью
Модель для расчета пробегов ионов в материале подложки
Ядерное торможение иона в материале
Электронное торможение иона в материале
Распределение примеси и дефектов в материале подложки в зависимости от энергии ионов азота
Остаточные концентрационные напряжения
Методики расчёта основных параметров физических процессов, происходящих при ионной имплантации
Методика расчета пробегов ионов методом Монте-Карло
Методика расчета распределения концентрации внедренных ионов по глубине материала
Методика расчёта остаточных концентрационных напряжений
Результаты расчёта параметров процессов взаимодействия имплантируемых ионов с материалом подложки
Экспериментальное оборудование
Установка для ионной имплантации азота в инструментальные материалы
Устройство системы электропитания имплантационной установки
Устройство датчика ионного тока
Заключение
Список литературы
Приложения
Программа ion_implantation, разработанная в среде BORLAND C++ для расчёта остаточных концентрационных напряжений в поверхностных слоях материала подложки после имплантации ионов азота
Результаты работы программы ion_implantation для стали р6м5
Содержание:
Введение Сравнительный анализ методов поверхностного модифицирования
Физические основы процесса ионной имплантации газов в металлы и сплавы
Основные характеристики метода ионной имплантации
Механизмы взаимодействия имплантируемых ионов с мишенью
Модель для расчета пробегов ионов в материале подложки
Ядерное торможение иона в материале
Электронное торможение иона в материале
Распределение примеси и дефектов в материале подложки в зависимости от энергии ионов азота
Остаточные концентрационные напряжения
Методики расчёта основных параметров физических процессов, происходящих при ионной имплантации
Методика расчета пробегов ионов методом Монте-Карло
Методика расчета распределения концентрации внедренных ионов по глубине материала
Методика расчёта остаточных концентрационных напряжений
Результаты расчёта параметров процессов взаимодействия имплантируемых ионов с материалом подложки
Экспериментальное оборудование
Установка для ионной имплантации азота в инструментальные материалы
Устройство системы электропитания имплантационной установки
Устройство датчика ионного тока
Заключение
Список литературы
Приложения
Программа ion_implantation, разработанная в среде BORLAND C++ для расчёта остаточных концентрационных напряжений в поверхностных слоях материала подложки после имплантации ионов азота
Результаты работы программы ion_implantation для стали р6м5