3-е изд. (эл.) — М.: Бином. Лаборатория знаний, 2013. — 366 с. —
(Учебник для высшей школы). — ISBN 978-5-9963-2104-9
Подробно рассмотрены фундаментальные физические эффекты и
электронные процессы, характерные для наноразмерных структур.
Описаны принципы функционирования и типы наноэлектронных приборов
для обработки информации. Приведены нанотехнологические подходы,
позволяющие формировать приборные структуры наноэлектроники и
спинтроники. Наряду с обновленным и расширенным теоретическим
материалом предыдущего издания в данное издание включены
практические задачи и контрольные вопросы для самопроверки,
призванные закрепить изучаемый теоретический материал.
Для студентов, магистрантов и аспирантов, профессионально ориентированных на карьеру в области современной электроники и нанотехнологий. Содержание:
Об авторах
Введение
Физические основы наноэлектроники
Фундаментальные явления
В низкоразмерных структурах
Квантовое ограничение
Баллистический транспорт носителей заряда
Туннелирование носителей заряда
Элементы низкоразмерных структур
Свободная поверхность и межфазные границы
Сверхрешетки
Моделирование атомных конфигураций
Структуры с квантовым ограничением, создаваемым
Внутренним электрическим полем
Квантовые колодцы
Модуляционно-легированные структуры
Дельта-легированные структуры
Структуры с квантовым ограничением, создаваемым внешним электрическим полем
Структуры металл/диэлектрик/полупроводник
Структуры с расщепленным затвором
Методы формирования наноэлектронных структур
Традиционные методы формирования пленок
Химическое осаждение из газовой фазы
Молекулярно-лучевая эпитаксия
Электрохимическое осаждение металлов и полупроводников
Электрохимическое оксидирование металлов и полупроводников
Методы, основанные на использовании сканирующих зондов
Физические основы
Атомная инженерия
Зондовые методы формирования наноструктур
Нанолитография
Электронно-лучевая литография
Нанопечать
Сравнение нанолитографических методов
Саморегулирующиеся процессы
Самосборка
Самоорганизация в объемных материалах
Самоорганизация при эпитаксии
Формирование пленок Ленгмюра-Блоджетт
Формирование и свойства наноструктурированных материалов
Пористый кремний
Пористый оксид алюминия
Пористые оксиды тугоплавких металлов
Перенос носителей заряда в низкоразмерных структурах и приборы на их основе
Транспорт носителей заряда вдоль потенциальных барьеров
Интерференция электронных волн
Вольтамперные характеристики низкоразмерных структур
Квантовый эффект Холла
Электронные приборы на основе интерференционных эффектов и баллистического транспорта носителей заряда
Туннелирование носителей заряда через потенциальные барьеры
Одноэлектронное туннелирование
Приборы на основе одноэлектронного туннелирования
Резонансное туннелирование
Приборы на основе резонансного туннелирования
Спин-зависимый транспорт носителей заряда
Гигантское магнитосопротивление
Спин-контролируемое туннелирование
Управление спинами носителей заряда в полупроводниках
Эффект Кондо
Спинтронные приборы
Практикум
Низкоразмерные структуры
Квантовые колодцы
Самоорганизация
Проводимость низкоразмерных структур
Одноэлектронное туннелирование
Резонансное туннелирование
Гигантское магнитосопротивление
Спин-контролируемое туннелирование
Приложения
Нобелевские лауреаты
Краткая история познания наномира
Словарь терминов
Рекомендуемая литература
Предметный указатель
Для студентов, магистрантов и аспирантов, профессионально ориентированных на карьеру в области современной электроники и нанотехнологий. Содержание:
Об авторах
Введение
Физические основы наноэлектроники
Фундаментальные явления
В низкоразмерных структурах
Квантовое ограничение
Баллистический транспорт носителей заряда
Туннелирование носителей заряда
Элементы низкоразмерных структур
Свободная поверхность и межфазные границы
Сверхрешетки
Моделирование атомных конфигураций
Структуры с квантовым ограничением, создаваемым
Внутренним электрическим полем
Квантовые колодцы
Модуляционно-легированные структуры
Дельта-легированные структуры
Структуры с квантовым ограничением, создаваемым внешним электрическим полем
Структуры металл/диэлектрик/полупроводник
Структуры с расщепленным затвором
Методы формирования наноэлектронных структур
Традиционные методы формирования пленок
Химическое осаждение из газовой фазы
Молекулярно-лучевая эпитаксия
Электрохимическое осаждение металлов и полупроводников
Электрохимическое оксидирование металлов и полупроводников
Методы, основанные на использовании сканирующих зондов
Физические основы
Атомная инженерия
Зондовые методы формирования наноструктур
Нанолитография
Электронно-лучевая литография
Нанопечать
Сравнение нанолитографических методов
Саморегулирующиеся процессы
Самосборка
Самоорганизация в объемных материалах
Самоорганизация при эпитаксии
Формирование пленок Ленгмюра-Блоджетт
Формирование и свойства наноструктурированных материалов
Пористый кремний
Пористый оксид алюминия
Пористые оксиды тугоплавких металлов
Перенос носителей заряда в низкоразмерных структурах и приборы на их основе
Транспорт носителей заряда вдоль потенциальных барьеров
Интерференция электронных волн
Вольтамперные характеристики низкоразмерных структур
Квантовый эффект Холла
Электронные приборы на основе интерференционных эффектов и баллистического транспорта носителей заряда
Туннелирование носителей заряда через потенциальные барьеры
Одноэлектронное туннелирование
Приборы на основе одноэлектронного туннелирования
Резонансное туннелирование
Приборы на основе резонансного туннелирования
Спин-зависимый транспорт носителей заряда
Гигантское магнитосопротивление
Спин-контролируемое туннелирование
Управление спинами носителей заряда в полупроводниках
Эффект Кондо
Спинтронные приборы
Практикум
Низкоразмерные структуры
Квантовые колодцы
Самоорганизация
Проводимость низкоразмерных структур
Одноэлектронное туннелирование
Резонансное туннелирование
Гигантское магнитосопротивление
Спин-контролируемое туннелирование
Приложения
Нобелевские лауреаты
Краткая история познания наномира
Словарь терминов
Рекомендуемая литература
Предметный указатель