Жукова Л.А., Гуревич М.А. Электронография поверхностных слоев и пленок полупроводниковых материалов

Москва: Металлургия, 1971. — 176 с. Показано применение электронографии для исследования и контроля фазового состава и степени совершенства структуры поверхностных слоев и пленок. Изложены методы расчета, индицирования электронограмм, особенно расчеты, связанные с характеристикой кикучи-линий. Авторами разработана классификационная шкала электронограмм, устанавливающая связь между дифракционной картиной, полученной методом отражения, и реальной структурой поверхностных слоев и пленок.
Книга предназначена для инженерно-технических работников металлургической промышленности, занятых изучением и производством полупроводниковых материалов и приборов, а также для студентов, специализирующихся в области электронографии и электронной микроскопии.
Иллюстраций: 141, таблиц: 11, библиографический список: 252 пункта. Оглавление:
Введение
Физические основы и методы электронографии
Метод отражения быстрых электронов
Типы электронограмм
Электронограммы с кикучи-линиями
Индицирование электронограмм с кикучи-линиями
Огибающие кикучи-линий
Связь между дифракционной картиной и структурой вещества
Влияние различных структурных дефектов на интенсивность кикучи-линий и полос
Запрещенные рефлексы при дифракции на отражение
Определение ориентации образца электронографическим методом
Влияние различных способов механической обработки на структуру поверхностного слоя
Исследование структуры эпитаксиальных пленок
Применение дифракции медленных электронов
Литература (Качество не идеальное, можно встретить размытости, но все читаемо)