
Рис.
1.
АС
М-
и
зобра
ж
ен
и я
пов
ерхности
Ge/Si (105)
(а)
(
Т
.
Eguchi
и
д
р
.
,
О
m
i
сг
оп
)
;
м
а
г
ни
тны
х
д
ом
е
н
о в
в
м
о
н
окр
и с
т
а
м
е
BaFe,
,o
'9(6)
(
А
.
Wadas. R.
Wiеsепdапgег.
Omicron);
ло
каль
но
ок исле
н
ной
т
он
к
о
й
пленк
и
т
ит
а
н а
(В)
(С
мирнов В
.А
..
ТИ
ЮФ
V
,
НТ-МД
Т
)
Рис
.
2.
А
СМ
изобра
же
ние
культуры
б
актерий
Escherichia
coli
(А.
Razatos
I
п
s
t
i
t
u
t
е
for Molecular Cell Biology.
С
Ш
А
,
Digital
Iп
s
tг
u
m
е
п
t
s
)
иано
по
зицонирования
.
Испо
ль
зование
«
п
ье
з
оп
в
и
г
ател
с
й»
и
атом
но-остры
х з
о
н
д
о
в
по
з
во
л
я ет
до
б
ит
ь
с
я
атомно
го
ра
зрешения
АСМ
в
вы
соком
вакууме.
П
о
м
и м
о н
е
п
о
с
р
е
д
ст
в е
н н о
г
о
исс
ле
дования
с
труктуры
поверхнос
ти
ме
то
дом
кон
так
тной
АСМ
,
можно
ре
гис
триров
а
ть
с
и
л
ы
т
р
е
н
и я
и
алге
зионн
ые
с
и
лы
.
В
насгоящсе
время
ра
зра
-
не
ок
аже
тся
бо
льш
е
пр
е
дел
а
упру
гой
д
с
ф
ор
ма
ции
ма
т
ери
ал
а
о б
р
азца
или
з
о
ил
а
.
Таким
обра
зо
м
,
осно
вным
с
войством
кан
ти
левера
яв
ля
ется
е
г
о
жест
к
ост
ь
,
а
по
дбор
м
а
териала
и
ге
о
мет
р
и
ч
е
ски
х
ха
ра
кт
е
р
и
ст
ик
кан
ти
левера
по
зво
ляе
т
испо
л
ьзо
в
ать
мето
д
АС
М
для
самы
х
ра
з
личных
пр ило
ж
ени
й
,
П
еремеша
ясь
в
п
лоскос
ти
образц
а
над
по
вер
хно
с
т
ью
,
ка
н ти
лепе
р
и
згибае
тся
,
о
т
с
л
е
жи
в
ая
е
е
ре
л
ь
еф
.
При
с
ка н
и
р
о
ва
н и и
обр
азца
в
конта
к
тном
р
е
жи
м
е
его
пов
ер
хнос
ть
час
тично
повр
ежда
е
т
ся
,
а
р
азрешение
ме
тод
а
ока
з
ыва
е
тся
д
о
стат
о
ч
н о
ни
зк
им,
Ра зрабо
тка
мето
дов
по
лукон
так
тно
го
и
бесконтак
тного
сканиро
вания
,
ког
да
з
о
нд
вхо
ди
т в
ко
н
т
ак
т
с
п о
в
е
р
х
нос
тью
т
ол
ь
к
о
в
н
ижней
точке
т
р
а
е
к
т
о
р и
и
собс
твенных
ре
зонансных
колебаний
и
л
и
не
вхо
дит
в
контакт
в
о
о
б
щ
е,
по
зво
лила
уве
личит
ь
ра
зрешение
АСМ
,
з
н
а
ч
и
т
е
л
ь
н
о
сн и
з
ив
л
а нл
с
ние
на
обра
зец
со
стороны
з
о
нд
а.
Для
регист
рации
о
тклонения
кан
тиленера
пре
дложены
ра
з
личные
системы,
основанные
на
испо
ль
з
о
ва
н
и
и
емкос
тных
датчико
в
,
и н
т
е
рф
е
р
о
м
е
т
ров
,
систем
о
ткл
онения
с
ветово
го л у
ч а
и
ли
пье
зоэ
лек три
ческ
их
д а
т
ч
и
к
о
в.
В
совреме
н
ных
при
борах
у
го
л
и
з
гиба
кан
тилевера
ре
гистри
р
уе
т ся
с
помошью
лаз
е
р
а,
л
у
ч
ко
торо
го
о
тра
жа
е
тся
о
т в
не
ш
н
е
й
стороны
консо
ли
и п
ада
е
т
н
а
фо
то
лио
дныи
с е
кт
орны
й
п
ат
ч
и к
.
Сис
тема
обра
тной
свя
зи
о
тс
л
ежива
е
т
и
зменение
си
г
нала на
фо
то
де
тек
торе
и
у п
р
а
вл
я
ет
сис
темой
о
2.5
5.0
7.5
10.0
7.5
5
.0
2.5
о
10 .0
1II1i
32
НАНОТЕХНОЛОГИИ