личество элементов на маленькой площади полупроводнико
вого кристалла. Однако она совершенно не подходит для случа
ев, когда те же элементы нужно разместить по большой площа
ди, на иных материалах или не на плоских поверхностях.
Технология размещения наноструктур на любых поверх
ностях, названа “мягкой литографией”. Она не требовательна к
качеству и форме подложки, а потому применять её можно для
неровных и гибких поверхностей и даже объёмных фигур.
В качестве примера, демонстрирующего возможности но
вой технологии, исследователи из Иллинойского университета
(США) показывают полусферу, покрытую матрицей фоточув
ствительных транзисторов и способную сыграть роль основно
го элемента для широкоугольного цифрового фотоаппарата.
Делают ее так: сперва на выбранную поверхность наносят
тонкие плёнки алюминия, кремния и нитрида кремния. Потом
поверхность нагревают и методами зондовой микроскопии
“рисуют” на ней определенную наноструктуру с характерными
размерами в десятки нм. Затем штампуют ею мягкую полимер
ную матрицу, которую потом подвергают облучению для зат
вердения.
Минимальные размеры элементов, создаваемых этим спо
собом, составляют около 10 нм, что позволяет, в принципе, осу
ществлять очень плотную запись, но производительность и на
дежность оставляют желать лучшего. Тем не менее, мягкую ли
тографию ждёт большое будущее.
Рисование и печать
Очень удобный способ нанесения наноструктур на поверх
ности предложила компания NanoInk, выпускающая самые ма
ленькие авторучки на Земле. Точки, линии и буквы, выходя
щие изпод их “пера”, примерно в десять тысяч раз меньше тех,
что создаются с помощью обычной шариковой ручки. Но в от
личие от макроскопических “коллег”, данная ручка представ
ляет собой зонд АСМ с наконечником из нитрида кремния.
Когда АСМ используется по прямому назначению, возни
кает проблема: на наконечнике конденсируется влага из окру
жающего воздуха, что ухудшает качество измерений. Оказа
лось, частицы воды в образующейся капельке постоянно дви
жутся – от наконечника к поверхности и наоборот. Это свой
ство решили использовать для перемещения вместе с водой мо
271
www.nanonewsnet.ru
ГЛАВА 5. Инструменты нанотехнологии