
$ 29.4
Конструкция
и
работа эксимерных лазеров
625
Широко разрабатываются также электроразрядные эксимерные лазеры. Систе-
мы инициирования объемного разряда в таких лазерах аналогичны показанным на
рис. 5. Наиболее перспективным для накачки эксимерных лазеров является попе-
речный разряд, при котором в объемной стадии реализуются мощности накачки
-1-И0 МВт/см
3
при давлении рабочей смеси К: К: X = 1000:10:1, составляющем
несколько атмосфер.
При разряде емкостного накопителя на разрядный промежуток, заполненный
смесью инертных газов с галогенами, в случае формирования объемного разряда
на осциллограмме напряжения можно выделить три характерных участка:
1. Предпробойная стадия, длительность которой составляет обычно 50-100 не.
В этой стадии напряжение на промежутке увеличивается и перед пробоем в не-
сколько раз превышает статическое пробивное. За счет предварительной иониза-
ции на этой стадии начинает формироваться объемный разряд.
2. Стадия быстрого спада напряжения, ее длительность -10 не. Во время этой
стадии ток через промежуток увеличивается на несколько порядков, а напряжение
уменьшается до значения, в несколько раз меньше статического пробивного. В те-
чение этой стадии заканчивается формирование объемного разряда.
3. Квазистационарная стадия, длительность которой зависит от очень многих
параметров и может превышать 1 мкс. При разряде в инертных газах из-за влияния
процессов ступенчатой ионизации напряжение в квазистационарной стадии суще-
ственно ниже статического пробивного, тогда как в азоте это напряжение прибли-
зительно равно статическому пробивному.
Накачка активной среды осуществляется в стадии быстрого спада напряжения
и в квазистационарной стадии.
Объемный разряд при повышенных давлениях формируется только при много-
электронном инициировании [11]. Условия формирования однородного разряда
при повышенных давлениях можно сформулировать следующим образом. Во-
первых, необходимо, чтобы начальная концентрация электронов, создаваемых
внешним ионизатором п
е0
, была п
е0
>(г
с
)~
3
, где г
с
- критический радиус головки
электронной лавины, при достижении которой начинает формироваться стример.
Во-вторых, из-за того, что предыонизатор обычно действует ограниченное время и
начальные электроны из-за дрейфа уходят из слоя около катода толщиной х
9
необ-
ходимо, чтобы выполнялось условие х < г
с
. Тогда удается избежать формирования
стримера из-за недостаточного перекрытия лавин в обедненном электронами слое
у катода. Таким образом, применение предыонизации позволяет создавать началь-
ные электроны в газовом объеме и (или) на катоде, из которых развиваются элек-
тронные лавины, а при перекрытии отдельных лавин (скорость развития лавин
зависит от приложенного электрического поля) формируется однородный разряд
при повышенных давлениях.
Длительность объемной стадии разряда при повышенных давлениях определя-
ется многими факторами (удельный энерговклад, состав и давление смеси, про-
филь, материал и состояние поверхности электродов и т.д.), однако причиной кон-
тракции разряда, как правило, является катодная неустойчивость [11,27].
Для получения генерации в импульсных газовых лазерах высокого давления на
галогенидах благородных газов необходимо за короткое время (обычно <0,1 мкс)
ввести в активную среду энергию -0,1 Дж/(см
3
атм), обеспечивая объемный
40. Месяц Г.А.