драгоценных металлов и сплавов имеют широкий диапазон значений. Эти
значения определяются энергетическим состоянием электронов в
кристаллической решетке. Для оценки значений пользуются такими
физическими параметрами, как ионизационный потенциал, температура
плавления, температура рекристаллизации, т.к.л.р., модуль упругости,
временное сопротивление разрыву, энергия активации диффузии и
самодиффузии, теплота сублимации и др. Переходные драгоценные металлы
имеют более высокое электрическое сопротивление по сравнению, например, с
Au и Ag. Величину сопротивления драгоценных металлов, можно изменять
путем введения легирующих добавок, что в свою очередь дает возможность
управлять их физическими и химическими свойствами.
В связи с дефицитностью драгоценных металлов в последнее время
наметились тенденции к сокращению объема их использования в производстве
ИМЭ за счет уменьшения толщины пленок, селективной металлизации,
частичной или полной замены сплавами с меньшим содержанием драгоценных
металлов или недрагоценными металлами.
В состав ИМЭ входят токопроводящие системы, которые изготавливают
из разных металлов и сплавов, в том числе и драгоценных. Такие системы
бывают однослойными, многослойными и многоуровневыми. Каждый слой
системы выполняет одну или несколько функций. Как правило, нижний слой
обеспечивает высокую адгезию к участкам диэлектрика и полупроводника и
образует контакт металл – полупроводник с заданными свойствами.
Современные полупроводниковые системы и ИС, преобразуют значительные
уровни электрической энергии, работают на высоких частотах, имеют
тонкопленочные элементы микронных и субмикронных размеров и
повышенную надежность. В последнее время, в этих элементах, вместо Ag и
Au, не образующих с Si химических соединений, из драгоценных металлов все
чаще используются силицидообразующие металлы Pd, Pt и сплавы на их
основе.
Для механического закрепления кристаллов ИС в корпусах и их
коммутации с внешними цепями, необходимыми элементами являются выводы,
припои, прокладки, пленочные покрытия. Их изготавливают из чистых
драгоценных металлов, сплавов на их основе в виде тонких или толстых
пленок. Для этой группы элементов наиболее пригодны Au, Ag, Pd.
136