непревышающим 30 нм. При росте давления до нескольких сотен Па
образование высокодисперсных металлических частиц завершается в
конвективных потоках газа вблизи испарителя.
Газофазный синтез позволяет получать частицы размером от 2 до
нескольких сотен нанометров. Более мелкие частицы контролируемого размера
получают с помощью разделения кластеров по массе во времяпролетном масс-
спектрометре. Например, пары металла пропускают через ячейку с гелием под
давлением порядка 1000-1500 Па, затем выводят в высоковакуумную камеру
(~10
-5
Па), где масса кластера устанавливается по времени пролета
определенного расстояния в масс-спектрометре. Таким способом получали
кластеры сурьмы, висмута и свинца, содержащие 650, 270 и 400 атомов
соответственно; температура газообразного гелия в случае паров Sb и Bi
составляла 80K, а в случае паров Рb – 280K.
В последние годы газофазный синтез наночастиц получил заметное
развитие благодаря использованию разнообразных методов нагрева
испаряемого вещества.
Высокодисперсные осадки серебра и меди на стекле получают
испарением металлов в инертной атмосфере при давлении 0,01-0,13 Па. Этим
же методом получают кластеры Li
n
, содержащие до пятнадцати атомов лития.
Нанокристаллические порошки оксидов Al
2
O
3
, ZrO
2
, Y
2
O
3
синтезируют
испарением оксидных мишеней в атмосфере гелия, магнетронным распылением
циркония в смеси аргона и кислорода, контролируемым окислением
нанокристаллов иттрия. Для получения высокодисперсных порошков нитридов
переходных металлов используют электронно-лучевой нагрев мишеней из
соответствующих металлов, испарение проводят в атмосфере азота или
аммиака при низком давлении.
Для получения нанокристаллических порошков применяются также
плазменный, лазерный и дуговой способы нагрева. Так, авторы [11,12]
получали наночастицы карбидов, оксидов и нитридов с помощью импульсного
лазерного нагрева металлов в разреженной атмосфере метана (в случае
карбидов), кислорода (в случае оксидов), азота или аммиака (в случае
нитридов). Импульсное лазерное испарение металлов в атмосфере инертного
газа (Не или Ar) и газа-реагента (О
2
, N
2
, NH
3
, СH
4
) позволяет получать смеси
нанокристаллических оксидов различных металлов, оксидно-нитридные или
карбидно-нитридные смеси. Состав и размер наночастиц можно
контролировать изменением давления и состава атмосферы (инертный газ и газ-
реагент), мощностью лазерного импульса, температурного градиента между
испаряемой мишенью и поверхностью, на которую происходит конденсация.
Метод конденсации паров в инертном газе наиболее часто используется в
научных целях — для получения небольших количеств нанопорошков.
Синтезированные этим методом порошки мало агломерируются и спекаются
при сравнительно низкой температуре. Mетод конденсации был
модифицирован с целью получения керамических нанопорошков из
металлоорганических прекурсоров. В использованной аппаратуре (рис.II.1)