С помощью покрытий разрешается противоречие между высокой
твердостью и вязкостью, свойственное инструментальным материалам.
Создаются предпосылки для реализации процессов сухого резания, потому что
покрытия имеют не только высокую износостойкость, но и низкую
теплопроводность, то есть могут выступать своеобразным тепловым барьером.
Эти эксперименты показывают, что нагревание подложки до
температуры приблизительно 800°С не приводит к десорбции (повторному
испарению) на потенциальных «буграх» рельефа, которые мигрируют по
поверхности атомов, на начальном этапе формирования пленки.
На рис. 6.17 представлена схема влияния основных технологических
параметров процесса КИБ на качественные характеристики
быстрорежущего инструмента с покрытием.
Оптимальные температурные условия нанесения покрытий,
например, на быстрорежущий инструмент приведены на рис. 6.18. На
этапе ионного очищения и термоактивации поверхности подложки
важнейшими параметрами процесса являются температура и время ее
достижения. Температура ограничена значениями приблизительно
540-550°С, а время очищения и термоактивации принимают в пределах
5-10 мин. Такой узкий интервал времени очистки обусловлен, с одной
стороны, необходимостью обеспечения качественной очистки, а с другой, -
хранением размеров радиусов округления режущих кромок от увеличения
(растравливания).
На этапе II – осаждение покрытия – оптимальными являются условия
поддержания температуры подложки на уровне 525±10°С. При такой
температуре обеспечивается формирование покрытия с наилучшей структурой.
На этапе III – охлаждение инструмента с покрытием осуществляют в
камере установки «Булат» до температуры 190°С, что предотвращает окисление
износостойких пленок на воздухе.
Тепловыми условиями осаждения и формирования износостойкого
покрытия можно управлять такими способами: изменением размера
напряжения на подложке и силы тока в цепи испарителя; кратковременным
подключением высокого напряжения; подогревом (охлаждением) с помощью
дополнительных источников тепла (охлаждение); применением
технологической оснастки для крепления инструмента с низкой (высокой)
теплоемкостью.
Охлаждение быстрорежущего инструмента является завершающим
этапом технологичного цикла. Оно осуществляется в камере установки до