Черезова Л.А. Ионно-лучевые методы в оптической технологии
Подождите немного. Документ загружается.
153
10.4. Нанесение покрытий с ионной бомбардировкой растущей пленки.. 135
10.5. Нанесение покрытий распылением мишени нейтрализованным
ионным пучком ................................................................................................ 140
10.6. Нанесение покрытий распылением мишени нейтрализованным
ионным пучком с ионной бомбардировкой растущей пленки .................. 142
Заключение .......................................................................................................... 145
Список литературы ............................................................................................. 146