СПб: СПб ГУ ИТМО, 2007. - 151 с. Учебное пособие по курсу
''Ионно-лучевые методы в оптической технологии'' содержит
теоретический и экспериментальный материал по взаимодействию ионных
пучков с поверхностью оптических материалов. В пособии рассмотрены
основные технологические процессы с использованием ионной
обработки, даны практические рекомендации по получению высокоточных
оптических элементов различного назначения. Пособие позволит
углубить знания в области физико-химических закономерностей
процессов взаимодействия элементарных частиц с поверхностью
твердого тела, в частности, оптических стекол, кристаллов и
полупроводников. Предназначено для студентов, изучающих технологии
обработки оптических материалов и изготовления оптических
элементов, а также специалистов, работающих в этой области
СОДЕРЖАНИЕ
Ионная бомбардировка твердых тел.
Основные методы ионной обработки оптических материалов.
Основные закономерности процесса ионного распыления диэлектриков.
Ионно-химическая обработка оптических материалов.
Ионная полировка и ионно-химическая модернизация поверхности оптических материалов.
Высокоточная размерная ионная обработка оптических элементов.
Ионная зональная ретушь.
Формообразование асферических поверхностей.
Применение ионной обработки при создании элементов с заданной микротопографией рельефа поверхности.
Ионная обработка оптических покрытий.
СОДЕРЖАНИЕ
Ионная бомбардировка твердых тел.
Основные методы ионной обработки оптических материалов.
Основные закономерности процесса ионного распыления диэлектриков.
Ионно-химическая обработка оптических материалов.
Ионная полировка и ионно-химическая модернизация поверхности оптических материалов.
Высокоточная размерная ионная обработка оптических элементов.
Ионная зональная ретушь.
Формообразование асферических поверхностей.
Применение ионной обработки при создании элементов с заданной микротопографией рельефа поверхности.
Ионная обработка оптических покрытий.