
_____________________________________________________________________________________________
35
Использование восстановительных процессов
Наиболее известным из этой группы является метод водородного
восстановления соединений металлов [7,56]. Соединения металлов
(гидрооксиды, хлориды, нитраты, карбонаты) вступают в реакцию
восстановления в токе водородом при температуре порядка 500 К.
Химическую реакцию восстановления на примере хлорида металла можно
записать в виде: MeCl
2
+ H
2
↔ Me + 2HCl. Таим методом можно получать
обычно порошки железа, вольфрама, никеля, рения, молибдена, меди,
кальция; существует также возможность получения порошков легированных
сплавов и сталей [56]. Получаемые нанопорошки металлов отличаются
низким содержанием примесей и узким распределением части по размерам
[7].
К этой же группе можно отнести химико-металлургический метод. В
соответствии с этим методом сначала проводится реакция синтеза
маловодных гидрооксидов путем газофазного взаимодействия, а затем
проводится термообработка полученных гидрооксидов в востановительной
среде, например в водороде [72,73]. В результате получают нанопорошки
железа, никеля, кобальта, молибдена, вольфрама, меди. Если термообработку
проводят на воздухе, то получают нанопорошки оксидов, например Al
2
O
3
,
TiO
2
, ZrO
2
или их композиции. Достоинствами метода являются малый
разброс частиц нанопорошка по размерам, низкое содержание примесей,
сравнительно недорогое технологическое оборудование, легкий переход с
выпуска одного порошка на выпуск другого.
Методы физического осаждения из паровой фазы
Данные методы получения нанопорошков в настоящее время
используются наиболее широко. Это связано с тем, что технологии
испарения вещества с помощью различных высокоинтенсивных источников
энергии и последующего осаждения его из паровой фазы являются
достаточно отработанными, легко контролируются и обеспечивают высокие
требования по чистоте получаемого нанопорошка, особенно при
использовании камер с контролируемой атмосферой. В последнем случае
чаще всего используются вакуумные камеры или камеры заполненные
инертными газами – гелием или аргоном, ксеноном. При испарении металлов
в вакууме или инертном газе атомы металла перешедшего в газовую фазу
(пар) стремятся к объединению в частицы порядка нескольких нанометров,
которые затем осаждаются на охлаждаемую подложку [74]. Данная группа
методов позволяет получать сложно легированные порошки, причем сплавы