Вавилов В.С., Кекелидзе Н.П., Смирнов Л.С. Действие излучений на полупроводники

2е изд. — М.: Наука, Гл. ред. физ.-мат. лит., 1988. — 192 с. Изложены основные представления о физических явлениях, приводящих к изменениям электрических, оптических и других свойств полупроводников под воздействием электромагнитного излучения, быстрых заряженных частиц и нейтронов. Основное внимание обращено на анализ первичных процессов, таких, как фотоионизация и ионизация заряженными частицами, внедрение ускоренных ионов примесей (ионная имплантация), влияние ядерных реакций на свойства полупроводников, а также возникновение радиационных нарушений кристаллической структуры, их устойчивость и энергетический спектр.
Для студентов и аспирантов, специализирующихся в области физики твердого тела, физики полупроводников и твердотельной электроники, а также для инженеров и технологов.