ТУ 6-02-1163-90 Моносилан концентрат. Технические условия

Настоящие технические условия распространяются на моносилан концентрат, предназначенный для изготовления смесей, применяемых в производстве полупроводниковых материалов, а также для других целей народного хозяйства.
Моносилан концентрат - бесцветный газ, самовоспламеняется на воздухе.
Держатель подлинника ТУ 6-02-1163-90 - ГНИИХТЭОС.
Взамен ТУ 6-02-1163-
79. Страниц 41.