Телеш Е.В. Конспект лекций по дисциплине Специальное технологическое оснащение

Минск, БГУИР, 2007, 202 с.
Для специальности 1-39 02 04 Проектирование и производство РЭС Содержание
Вводная лекция
Оборудование для резки слитков и механической обработки пластин полупроводниковых материалов
Оборудование для очистки поверхности полупроводниковых подложек
Системы нагрева в производстве полупроводниковых приборов и интегральных микросхем
Газовые системы в производстве полупроводниковых приборов и интегральных микросхем
Основы вакуумной техники
Методы измерения вакуума
Откачные средства вакуумных систем
Оборудование для наращивания эпитаксиальных слоев
Оборудование для термических диффузий и окисления
Оборудование для ионной имплантации
Оборудование для процессов литографии
Оборудование для нанесения покрытий в вакууме
Оборудование для получения покрытий из газовой фазы и из жидкостных сред
Оборудование для процессов травления твердотельных структур
Сборочное оборудование
Оборудование для герметизации
Контрольно-измерительное и испытательное оборудование
Оборудование для подготовки технологических сред
Автоматизированное и программно-управляемое технологическое оборудование