Учебное пособие для вузов. — 2-е изд., перераб. и доп. — М.: Высшая
школа, 1990. — 423 с.: ил. — ISBN 5-06-001032-5.
В книге изложены особенности протекания основных процессов (тепло-
и массопередачи, химических, переработки сырьевых материалов,
кристаллизации и стеклования, моделирования) при получении
материалов электронной техники. Описаны технологические процессы
получения важнейших полупроводниковых и диэлектрических материалов
(в виде монокристаллов, стекла, керамики), используемых в
электронной технике.
Оглавление
Предисловие
Общая характеристика основных процессов технологии
материалов электронной техники
Технологический процесс, основные понятия
Основные процессы гетерогенных химико-технологических систем Физико-химические основы процессов переработки сырьевых материалов
Процессы измельчения и рассеивания твердых тел
Основы процессов разделения и очистки Физико-химические основы процессов затвердевания
Образование кристаллических зародышей и стеклование
Механизм и кинетика роста кристаллов Технология получения монокристаллов полупроводниковых и диэлектрических материалов
Получение кристаллов из твердой фазы
Получение кристаллов из жидкой фазы
Получение кристаллов из газовой фазы
Получение профильных монокристаллов
Управление технологическими процессами выращивания монокристаллов
Технология важнейших монокристаллических материалов Физико-химические основы процессов легирования монокристаллов полупроводниковых и диэлектрических материалов
Легирование кристаллов в твердой фазе
Легирование кристаллов в процессе выращивания из жидкой фазы
Легирование кристаллов в процессе выращивания из газовой фазы
Математическое моделирование процессов получения монокристаллов Технология некристаллических материалов
Особенности стеклообразного состояния и строение стекла
Физико-химические основы стекловарения
Основы технологии стеклоизделий
Методы получения пленок стекла
Особенности получения стекол в условиях микрогравитации
Технология важнейших некристаллических материалов Технология керамических и стеклокерамических материалов
Основы технологии керамических материалов
Технология ситаллов Литература
Предметный указатель
Технологический процесс, основные понятия
Основные процессы гетерогенных химико-технологических систем Физико-химические основы процессов переработки сырьевых материалов
Процессы измельчения и рассеивания твердых тел
Основы процессов разделения и очистки Физико-химические основы процессов затвердевания
Образование кристаллических зародышей и стеклование
Механизм и кинетика роста кристаллов Технология получения монокристаллов полупроводниковых и диэлектрических материалов
Получение кристаллов из твердой фазы
Получение кристаллов из жидкой фазы
Получение кристаллов из газовой фазы
Получение профильных монокристаллов
Управление технологическими процессами выращивания монокристаллов
Технология важнейших монокристаллических материалов Физико-химические основы процессов легирования монокристаллов полупроводниковых и диэлектрических материалов
Легирование кристаллов в твердой фазе
Легирование кристаллов в процессе выращивания из жидкой фазы
Легирование кристаллов в процессе выращивания из газовой фазы
Математическое моделирование процессов получения монокристаллов Технология некристаллических материалов
Особенности стеклообразного состояния и строение стекла
Физико-химические основы стекловарения
Основы технологии стеклоизделий
Методы получения пленок стекла
Особенности получения стекол в условиях микрогравитации
Технология важнейших некристаллических материалов Технология керамических и стеклокерамических материалов
Основы технологии керамических материалов
Технология ситаллов Литература
Предметный указатель