Пер. с яп. - М.: Мир, 1988, 320 с.
Книга является переводом первого тома 11-томной серии по микроэлектронике, написанной крупными японскими специалистами. В эту серию входят книги, дающие исчерпывающий обзор современного состояния методов конструирования, технологии производства и применений интегральных схем. Излагаются методы проектирования и изготовления интегральных схем, а также их базовые структуры. Большое внимание уделено новой технологии изготовления схем, обеспечивающей получение практически бездефектных приборов.
Для специалистов в области микроэлектроники и вычислительной техники, а также студентов соответствующих специальностей.
Книга является переводом первого тома 11-томной серии по микроэлектронике, написанной крупными японскими специалистами. В эту серию входят книги, дающие исчерпывающий обзор современного состояния методов конструирования, технологии производства и применений интегральных схем. Излагаются методы проектирования и изготовления интегральных схем, а также их базовые структуры. Большое внимание уделено новой технологии изготовления схем, обеспечивающей получение практически бездефектных приборов.
Для специалистов в области микроэлектроники и вычислительной техники, а также студентов соответствующих специальностей.