Шермергор Т.Д., Стрельцова Н.Н. Пленочные пьезоэлектрики

М.: Радио и связь, 1986. - 136 с.: ил.
Кратко описаны физические свойства пьезоэлектрических материалов, используемых в микроэлектронике. Дан сравнительный анализ технологии получения пленок этих материалов. Рассмотрены зависимости свойств пленок от условий их получения. Приведена технология изготовления приборов на основе пьезоэлектрических пленок, их характеристики и области применения.

Для инженерно-техническнх работников, специализирующихся в области микроэлектроники.