2-е издание, переработанное и дополненное. — Санкт-Петербург:
БХВ-Петербург, 2008. — 752 с. — (Учебная литература для вузов). —
ISBN 978-5-9775-0160-6.
Рассмотрены разделы электроники: вакуумная и плазменная
электроника, твердотельная электроника, микроэлектроника, квантовая
и оптическая электроника, процессы микро- и нанотехнологий, методы
исследования материалов и структур, микросхемотехника. В разделы
включены исторические справки об этапах становления и развития
направления электроники, контрольные вопросы и задачи с решениями.
Во втором издании материал перегруппирован, исправлены неточности и
добавлены новые разделы: "Твердотельная электроника" и "Методы
исследования материалов и структур".
Предисловие.
Вакуумная и плазменная электроника.
Введение.
Краткая историческая справка.
Физика и техника вакуума.
Свойства вакуума.
Методы создания вакуума.
Методы измерения вакуума.
Методы течеискания.
Вакуумная электроника.
Модель прибора вакуумной электроники.
Электронная эмиссия.
Эмиттеры свободных электронов.
Управление полями потоками электронов.
Устройства управления электронным пучком.
Управление скоростью электронов.
Детектирование и преобразование энергии электронного потока.
Приборы и устройства вакуумной электроники.
Классификация приборов.
Электронные лампы.
Электровакуумные микролампы.
СВЧ-приборы.
Электронно-лучевые приборы.
Фотоэлектронные приборы.
Плазменная электроника.
Основные понятия.
Электрический разряд в газах.
Процессы в плазме.
Излучение плазмы.
Диагностика плазмы.
Приборы и устройства плазменной электроники.
Ионные приборы.
Приборы отображения информации.
Ионные приборы на углеродных нанотрубках.
Заключение. Твердотельная электроника.
Краткая историческая справка.
Эпоха транзисторизации.
Физические основы твердотельной электроники.
Полупроводники и их структура.
Носители заряда в полупроводниках.
Явления переноса носителей.
Полупроводниковые приборы.
Полупроводниковые диоды.
Транзисторы.
Тиристоры.
Полупроводниковые излучатели.
Полупроводниковые фотоприемники.
Полупроводниковые датчики.
Заключение. Микроэлектроника.
Введение.
Краткая историческая справка.
Третья транзисторная революция — рождение микроэлектроники.
Грядет ли новая транзисторная революция?
Линии развития, параллельные транзистору.
Место микроэлектроники в сфере высоких технологий.
Интегральные транзисторные структуры.
Классификация транзисторных структур.
Интегральные униполярные транзисторы.
Транзистор с управляющим p-n-переходом.
Полевой транзистор на гетероструктурах.
V-МДП-транзисторы.
Эпитаксиально-планарный биполярный транзистор.
Многоэмиттерные и многоколлекторные транзисторы.
Транзисторные структуры интегрально-инжекционной логики.
Транзистор с барьером Шоттки.
Перспективные транзисторные структуры.
Элементная база интегральных схем.
Способы изоляции элементов.
Интегральные диоды.
Интегральные резисторы.
Классификация интегральных схем.
Принципы классификации.
Условные обозначения.
Основные параметры интегральных схем.
Применение и эксплуатация интегральных схем.
БМК и ПЛНС.
Классификация базовых матричных кристаллов.
Программируемые логические интегральные схемы.
Система на кристалле.
Интегральные схемы СВЧ-диапазона.
Общие положения.
Элементная база электроники СВЧ.
Интегральные транзисторы СВЧ-диапазона.
Монолитные арсенид-галлиевые ИС.
Заключение. Квантовая и оптическая электроника.
Введение.
Краткая историческая справка.
Физические основы квантовой электроники.
Спонтанное и вынужденное излучения.
Спектральные линии.
Поглощение и усиление.
Интегральные конденсаторы.
Принципы работы лазера.
Типы лазеров.
Лазеры на конденсированных средах.
Газовые лазеры.
Управление световыми потоками.
Устройства управления.
Оптические волноводы.
Волоконные световоды.
Приемники излучения.
Фотодиоды.
Фотоприемники с внутренним усилением.
Гетеродинный прием оптического излучения.
Введение в интегральную оптику.
Элементы интегральной оптики.
Элементная база интегральной оптики.
Интегрально-оптические схемы.
Введение в оптоэлектронику.
Элементная база.
Оптоэлектронные устройства обработки информации.
Оптические методы обработки информации.
Оптические сигналы.
Голография.
Интерферометрические методы.
Когерентные оптические системы аналоговой обработки информации.
Структуры с пониженной размерностью. Процессы микро- и нанотехнологии.
Введение.
Технологические процессы изготовления ИС.
Процессы первичной обработки материалов.
Процессы литографии.
Процессы локального изменения свойств полупроводников.
Процессы обработки поверхности.
Сборка интегральных схем.
Типовые технологические маршруты производства ИС.
Процессы нанотехнологий.
Молекулярно-лучевая эпитаксия.
Газофазная эпитаксия из металлоорганических соединений.
Формирование структур на основе коллоидных растворов.
Золь-гель технология.
Методы молекулярного наслаивания и атомно-слоевой эпитаксии.
Сверхтонкие пленки металлов и диэлектриков.
Самоорганизация гетероэпитаксиальных структур.
Ионный синтез квантовых наноструктур.
Методы зондовой нанотехнологии.
Организационно-технологические основы производства.
Базовые субмикронные технологии.
Контроль качества интегральных схем.
Физико-технологические и экономические ограничения интеграции ИС.
Барьеры на пути от микро- к наноэлектронике.
Заключение. Методы исследования материалов и структур электроники.
Введение.
Методы измерения параметров полупроводников.
Исследование кристаллической структуры.
Диагностика параметров полупроводников.
Исследования химического состава поверхности.
Масс-спектроскопия.
Оже-электронная спектроскопия.
Ионная масс-спектроскопия.
Фотоэлектронная спектроскопия.
Радиоспектроскопия.
Исследования физической структуры поверхности.
Рентгеноструктурный анализ.
Анализ поверхности электронным пучком.
Полевая эмиссионная микроскопия.
Сканирующая зондовая микроскопия.
Электронная микроскопия.
Эллипсометрия.
Заключение. Микросхемотехника.
Введение.
Логические элементы интегральных схем.
Классификация логических элементов.
Основные характеристики логических элементов.
Логические ИС на биполярных транзисторах.
Логические элементы на МДП-транзисторах.
Логические элементы на арсенид-галлиевых транзисторах.
Логические элементы на БиКМОП-транзисторах.
Сравнительный анализ логических элементов.
Запоминающие устройства.
Классификация запоминающих устройств.
ЗУ на биполярных транзисторах.
ЗУ на МДП-транзисторах.
ЗУ на арсенид-галлиевых структурах.
Триггеры и устройства на их основе.
Бистабильные ячейки.
Триггер Шмитта.
RS-триггер.
RST-триггер.
D-триггер.
Т-триггер.
JK-триггер.
Счетчики.
Регистры сдвига.
Сумматоры.
Шифраторы и дешифраторы.
Мультиплексор.
Микропроцессоры и микроконтроллеры.
Микропроцессоры.
Микропроцессорные системы.
Аналоговая схемотехника.
Классификация аналоговых схем.
Операционный усилитель.
Аппаратурные включения операционных усилителей.
Преобразователи ЦАП — АЦП.
Цифроаналоговый преобразователь.
Аналого-цифровой преобразователь.
Заключение. Приложение.
Вехи развития отечественной электроники.
Российский период.
Советский период.
Новейший российский период. Предметный указатель.
Введение.
Краткая историческая справка.
Физика и техника вакуума.
Свойства вакуума.
Методы создания вакуума.
Методы измерения вакуума.
Методы течеискания.
Вакуумная электроника.
Модель прибора вакуумной электроники.
Электронная эмиссия.
Эмиттеры свободных электронов.
Управление полями потоками электронов.
Устройства управления электронным пучком.
Управление скоростью электронов.
Детектирование и преобразование энергии электронного потока.
Приборы и устройства вакуумной электроники.
Классификация приборов.
Электронные лампы.
Электровакуумные микролампы.
СВЧ-приборы.
Электронно-лучевые приборы.
Фотоэлектронные приборы.
Плазменная электроника.
Основные понятия.
Электрический разряд в газах.
Процессы в плазме.
Излучение плазмы.
Диагностика плазмы.
Приборы и устройства плазменной электроники.
Ионные приборы.
Приборы отображения информации.
Ионные приборы на углеродных нанотрубках.
Заключение. Твердотельная электроника.
Краткая историческая справка.
Эпоха транзисторизации.
Физические основы твердотельной электроники.
Полупроводники и их структура.
Носители заряда в полупроводниках.
Явления переноса носителей.
Полупроводниковые приборы.
Полупроводниковые диоды.
Транзисторы.
Тиристоры.
Полупроводниковые излучатели.
Полупроводниковые фотоприемники.
Полупроводниковые датчики.
Заключение. Микроэлектроника.
Введение.
Краткая историческая справка.
Третья транзисторная революция — рождение микроэлектроники.
Грядет ли новая транзисторная революция?
Линии развития, параллельные транзистору.
Место микроэлектроники в сфере высоких технологий.
Интегральные транзисторные структуры.
Классификация транзисторных структур.
Интегральные униполярные транзисторы.
Транзистор с управляющим p-n-переходом.
Полевой транзистор на гетероструктурах.
V-МДП-транзисторы.
Эпитаксиально-планарный биполярный транзистор.
Многоэмиттерные и многоколлекторные транзисторы.
Транзисторные структуры интегрально-инжекционной логики.
Транзистор с барьером Шоттки.
Перспективные транзисторные структуры.
Элементная база интегральных схем.
Способы изоляции элементов.
Интегральные диоды.
Интегральные резисторы.
Классификация интегральных схем.
Принципы классификации.
Условные обозначения.
Основные параметры интегральных схем.
Применение и эксплуатация интегральных схем.
БМК и ПЛНС.
Классификация базовых матричных кристаллов.
Программируемые логические интегральные схемы.
Система на кристалле.
Интегральные схемы СВЧ-диапазона.
Общие положения.
Элементная база электроники СВЧ.
Интегральные транзисторы СВЧ-диапазона.
Монолитные арсенид-галлиевые ИС.
Заключение. Квантовая и оптическая электроника.
Введение.
Краткая историческая справка.
Физические основы квантовой электроники.
Спонтанное и вынужденное излучения.
Спектральные линии.
Поглощение и усиление.
Интегральные конденсаторы.
Принципы работы лазера.
Типы лазеров.
Лазеры на конденсированных средах.
Газовые лазеры.
Управление световыми потоками.
Устройства управления.
Оптические волноводы.
Волоконные световоды.
Приемники излучения.
Фотодиоды.
Фотоприемники с внутренним усилением.
Гетеродинный прием оптического излучения.
Введение в интегральную оптику.
Элементы интегральной оптики.
Элементная база интегральной оптики.
Интегрально-оптические схемы.
Введение в оптоэлектронику.
Элементная база.
Оптоэлектронные устройства обработки информации.
Оптические методы обработки информации.
Оптические сигналы.
Голография.
Интерферометрические методы.
Когерентные оптические системы аналоговой обработки информации.
Структуры с пониженной размерностью. Процессы микро- и нанотехнологии.
Введение.
Технологические процессы изготовления ИС.
Процессы первичной обработки материалов.
Процессы литографии.
Процессы локального изменения свойств полупроводников.
Процессы обработки поверхности.
Сборка интегральных схем.
Типовые технологические маршруты производства ИС.
Процессы нанотехнологий.
Молекулярно-лучевая эпитаксия.
Газофазная эпитаксия из металлоорганических соединений.
Формирование структур на основе коллоидных растворов.
Золь-гель технология.
Методы молекулярного наслаивания и атомно-слоевой эпитаксии.
Сверхтонкие пленки металлов и диэлектриков.
Самоорганизация гетероэпитаксиальных структур.
Ионный синтез квантовых наноструктур.
Методы зондовой нанотехнологии.
Организационно-технологические основы производства.
Базовые субмикронные технологии.
Контроль качества интегральных схем.
Физико-технологические и экономические ограничения интеграции ИС.
Барьеры на пути от микро- к наноэлектронике.
Заключение. Методы исследования материалов и структур электроники.
Введение.
Методы измерения параметров полупроводников.
Исследование кристаллической структуры.
Диагностика параметров полупроводников.
Исследования химического состава поверхности.
Масс-спектроскопия.
Оже-электронная спектроскопия.
Ионная масс-спектроскопия.
Фотоэлектронная спектроскопия.
Радиоспектроскопия.
Исследования физической структуры поверхности.
Рентгеноструктурный анализ.
Анализ поверхности электронным пучком.
Полевая эмиссионная микроскопия.
Сканирующая зондовая микроскопия.
Электронная микроскопия.
Эллипсометрия.
Заключение. Микросхемотехника.
Введение.
Логические элементы интегральных схем.
Классификация логических элементов.
Основные характеристики логических элементов.
Логические ИС на биполярных транзисторах.
Логические элементы на МДП-транзисторах.
Логические элементы на арсенид-галлиевых транзисторах.
Логические элементы на БиКМОП-транзисторах.
Сравнительный анализ логических элементов.
Запоминающие устройства.
Классификация запоминающих устройств.
ЗУ на биполярных транзисторах.
ЗУ на МДП-транзисторах.
ЗУ на арсенид-галлиевых структурах.
Триггеры и устройства на их основе.
Бистабильные ячейки.
Триггер Шмитта.
RS-триггер.
RST-триггер.
D-триггер.
Т-триггер.
JK-триггер.
Счетчики.
Регистры сдвига.
Сумматоры.
Шифраторы и дешифраторы.
Мультиплексор.
Микропроцессоры и микроконтроллеры.
Микропроцессоры.
Микропроцессорные системы.
Аналоговая схемотехника.
Классификация аналоговых схем.
Операционный усилитель.
Аппаратурные включения операционных усилителей.
Преобразователи ЦАП — АЦП.
Цифроаналоговый преобразователь.
Аналого-цифровой преобразователь.
Заключение. Приложение.
Вехи развития отечественной электроники.
Российский период.
Советский период.
Новейший российский период. Предметный указатель.