Томск: Томский государственный университет систем управления и
радиоэлектроники, 2012.— 123 c.
Рассмотрены материалы, технология изготовления, модели основных
структур полупроводниковых интегральных схем. Для студентов,
обучающихся по специальности «Проектирование и технология
радиоэлектронных средств».