Методические указания по лабораторным работам. — 3-е изд.,
переработанное. — Ульяновск: УлГТУ, 2007. — 62 с.
Указания разработаны в соответствии с учебной программой курса
«Конструирование и технология микросхем» для специализации
«Проектирование и технология электронных средств».
В сборник включены семь лабораторных работ по конструированию и технологии микросхем.
Работа подготовлена на кафедре «Проектирование и технология электронных средств».
Печатается в авторской редакции. Правила выполнения работ в лаборатории.
Правила техники безопасности.
Лабораторные работы.
Классификация интегральных микросхем.
Технология получения тонких пленок для микросхем вакуумным испарением.
Технология фотолитографического процесса.
Исследование ионно-плазменного распыления материалов.
Технология сварки и нанки микросхем.
Изучение характеристик интегральных логических схем.
Исследование статических передаточных характеристик каскадов на МДП-транзисторах.
Библиографический список.
В сборник включены семь лабораторных работ по конструированию и технологии микросхем.
Работа подготовлена на кафедре «Проектирование и технология электронных средств».
Печатается в авторской редакции. Правила выполнения работ в лаборатории.
Правила техники безопасности.
Лабораторные работы.
Классификация интегральных микросхем.
Технология получения тонких пленок для микросхем вакуумным испарением.
Технология фотолитографического процесса.
Исследование ионно-плазменного распыления материалов.
Технология сварки и нанки микросхем.
Изучение характеристик интегральных логических схем.
Исследование статических передаточных характеристик каскадов на МДП-транзисторах.
Библиографический список.