Профессор Градобоев А.В. Национальный исследовательский Томский
политехнический университет. Томск. Россия. 2015. – 15 с.
Рентгеновская и электронная литография
Ядерное объемное легирование
Ионная имплантация
Радиационно-термический отжиг
Радиационно-стимулированный отжиг
Лазерные технологии
Направленное изменение свойств полупроводников и приборов на их основе
Использование «эффекта памяти» радиационного воздействия
Ядерное объемное легирование
Ионная имплантация
Радиационно-термический отжиг
Радиационно-стимулированный отжиг
Лазерные технологии
Направленное изменение свойств полупроводников и приборов на их основе
Использование «эффекта памяти» радиационного воздействия