- Москва, - МГУ, - 2003, – 182 стр. Диссертация на соискание ученой
степени кандидата технических наук. Специальность: 05.11.14 -
Технология приборостроения. (На правах рукописи). Научный
руководитель: кандидат физико-математических наук Борисов А.М.
Аннотация.
Целью диссертационной работы является поиск и разработка метода и технологии получения сверхпроводящих туннельных переходов субмикронного размера и опробование ее путем создания датчика температуры на основе субмикронных туннельных переходов для работы в субкельвинном диапазоне.
Содержание.
Состояние вопроса о технологии сверхпроводящих туннельных переходов субмикронных размеров.
Методы формирования туннельного барьера с разрывом вакуума.
Физические основы метода спектроскопии энергетических потерь отраженных электронов.
Разработка технологии получения сверхпроводящих туннельных переходов субмикронных размеров.
Этапы технологического процесса.
Электрические характеристики сверхпроводящих туннельных переходов субмикронных размеров.
Аннотация.
Целью диссертационной работы является поиск и разработка метода и технологии получения сверхпроводящих туннельных переходов субмикронного размера и опробование ее путем создания датчика температуры на основе субмикронных туннельных переходов для работы в субкельвинном диапазоне.
Содержание.
Состояние вопроса о технологии сверхпроводящих туннельных переходов субмикронных размеров.
Методы формирования туннельного барьера с разрывом вакуума.
Физические основы метода спектроскопии энергетических потерь отраженных электронов.
Разработка технологии получения сверхпроводящих туннельных переходов субмикронных размеров.
Этапы технологического процесса.
Электрические характеристики сверхпроводящих туннельных переходов субмикронных размеров.