Учебное пособие
ТОМСКИЙ ГОСУДАРСТВЕННЫЙ УНИВЕРСИТЕТ СИСТЕМ УПРАВЛЕНИЯ
И РАДИОЭЛЕКТРОНИКИ, Кафедра электронных приборов (ЭП). - 2006. - 364 с.
В книге рассмотрены следующие вопросы:
1) физико-химические основы технологических процессов в производстве мате-
риалов и изделий электронной техники;
2) кинетические, диффузионные и поверхностные явления и межфазные взаи-
модействия в технологических процессах;
3) физические основы вакуумной, ионно-плазменной, электронно-лучевой и ла-
зерной технологии;
4) основы технологии изготовления приборов и устройств вакуумной, плазмен-
ной, твердотельной и микроэлектроники;
5) автоматизация процессов производства электронных приборов и устройств;
6) эксплуатация и сервисное обслуживание технологического оборудования.
ТОМСКИЙ ГОСУДАРСТВЕННЫЙ УНИВЕРСИТЕТ СИСТЕМ УПРАВЛЕНИЯ
И РАДИОЭЛЕКТРОНИКИ, Кафедра электронных приборов (ЭП). - 2006. - 364 с.
В книге рассмотрены следующие вопросы:
1) физико-химические основы технологических процессов в производстве мате-
риалов и изделий электронной техники;
2) кинетические, диффузионные и поверхностные явления и межфазные взаи-
модействия в технологических процессах;
3) физические основы вакуумной, ионно-плазменной, электронно-лучевой и ла-
зерной технологии;
4) основы технологии изготовления приборов и устройств вакуумной, плазмен-
ной, твердотельной и микроэлектроники;
5) автоматизация процессов производства электронных приборов и устройств;
6) эксплуатация и сервисное обслуживание технологического оборудования.