Матюнин С.А. Автоматический контроль температурных характеристик оптоэлектронных элементов микроэлектроники в процессе изготовления

Самара: Самарский государственный аэрокосмический университет имени С.П. Королева, 2003. —31с. В методических указаниях даны основы проектирования оптоэлектронных элементов, термокомпенсированных по оптическому каналу, рассмотрены вопросы оптимизации характеристик тонкопленочных покрытий оптических элементов, технологии их изготовления, рассмотрены особенности способа автоматического контроля температурных характеристик оптоэлектронных элементов, а так же вопросы их юстировки. Методические указания могут быть использованы для подготовки студентов к практическим занятиям и лабораторным работам по курсам «Интегральная оптоэлектроника», «Технология деталей», «Спецвопросы микроэлектроники и технологии», «Функциональная микроэлектроника». Содержание.
Введение.
Анализ элементной базы оптической микроэлектроники. Влияние дестабилизирующих факторов.
Стабилизация параметров оптоэлектронных элементов методом спектрального взаимодействия.
Учет теплообмена при оптимизации МОС.
Автоматический контроль температурных характеристик МОЭ в процессе их изготовления.
Особенности юстировки МОС.
Список литературы.