Уральский государственный технический университет им. Б. Н.
Ельцина.
Кафедра «Электронное машиностроение».
Курсовая работа по курсу.
«Материалы и элементы электронной техники».
Тема «Материалы для проводящих и резистивных тонких и толстых пленок».
Оглавление.
Пленочные технологии. Введение.
Тонкопленочная технология.
Термическое распыление.
Катодное распыление.
Ионно-плазменное распыление и т. д.
Тонкопленочная технология - это совокупность способов получения и обработки тонких (0,01…1 мкм, не свыше 3 мкм) пленок металлов, диэлектриков и полупроводников при изготовлении ИС, ПП – приборов, коммутационных соединений и монтажных площадок в микросхемах.
Для получения тонких пленок на подложках промышленно выпускается специальное технологическое оборудование, например: вакуумно-напылительные установки термического испарения и ионного распыления и др. (вакуумная напылительная техника).
Далее более подробно рассмотрены некоторые методы получения тонких пленок.
Кафедра «Электронное машиностроение».
Курсовая работа по курсу.
«Материалы и элементы электронной техники».
Тема «Материалы для проводящих и резистивных тонких и толстых пленок».
Оглавление.
Пленочные технологии. Введение.
Тонкопленочная технология.
Термическое распыление.
Катодное распыление.
Ионно-плазменное распыление и т. д.
Тонкопленочная технология - это совокупность способов получения и обработки тонких (0,01…1 мкм, не свыше 3 мкм) пленок металлов, диэлектриков и полупроводников при изготовлении ИС, ПП – приборов, коммутационных соединений и монтажных площадок в микросхемах.
Для получения тонких пленок на подложках промышленно выпускается специальное технологическое оборудование, например: вакуумно-напылительные установки термического испарения и ионного распыления и др. (вакуумная напылительная техника).
Далее более подробно рассмотрены некоторые методы получения тонких пленок.