ГГУ им. Ф. Скорины, физическая электроника,9 лекций: тонкие пленки
и покрытия, их классификация, адсорбция и зародышеобразование,
нанесение вакуумных покрытий плазмоионными и электронно-лучевыми
методами, реактивные методы нанесения покрытий, углеродных
алмазоподобных покрытий, ионная имплантация, плазмохимическая
обработка материалов.
Составитель: Рогачев
Составитель: Рогачев