Лабораторный практикум. — Учебно-методическое пособие. — Минск:
БГУИР, 2011. — 44 с.
В пособии рассматриваются четыре технологических процесса:
химическое травление; высокотемпературная диффузия; ионное
легирование; микролитография.
В конце пособия приводится перечень контрольных вопросов и литература. Требования техники безопасности при выполнении базовых технологических процессов.
Базовые технологические процессы изготовления ИС и МЭМС.
Контрольные вопросы.
В конце пособия приводится перечень контрольных вопросов и литература. Требования техники безопасности при выполнении базовых технологических процессов.
Базовые технологические процессы изготовления ИС и МЭМС.
Контрольные вопросы.