Королев М.А. и др. Технология, конструкции и методы моделирования кремниевых интегральных микросхем: в 2 ч. Часть 2. Элементы и маршруты изготовления кремниевых ИС и методы их математического моделирования

формат pdf
размер 11,61 МБ
добавлен 1 апреля 2015 г.

2-е изд. (эл.) — М.: БИНОМ. Лаборатория знаний, 2012. — Королев М.А., Крупкина Т.Ю., Путря М.Г., Шевяков В.И., под ред. Ю.А. Чаплыгина. — 422 с.: ил. — ISBN 978-5-9963-0913-9 (Ч. 2).

Основные маршруты изготовления кремниевых интегральных схем
Плазменные методы формирования трехмерных структур СБИС
Методы приборно-технологического моделирования в проектировании маршрутов и элементов СБИС

Купить и скачать книгу