Тамбов : Изд-во ГОУ ВПО ТГТУ, 2011. — 16 с.
Приведены лабораторные работы по основным темам в изучении
технологических процессов изготовления полупроводниковых
электронных схем.
Предназначены для студентов, обучающихся по направлению «Конструирование и технология электронных средств», очной формы обучения.
Предназначены для студентов, обучающихся по направлению «Конструирование и технология электронных средств», очной формы обучения.