Учебное пособие. — Челябинск: ЮУрГУ, 2001. — 119 с.
В пособии рассмотрены вопросы технологии полупроводниковых,
магнитных, диэлектрических и проводниковых материалов, широко
применяющихся в электронике и микроэлектронике, прогрессивные
технологии производства тонкопленочных материалов и наращивания на
подложку монокристаллических эпитаксиальных пленок, планарная
технология производства интегральных схем,
методы создания p−n- переходов и способов легирования (введения примесей) в подложку и другие вопросы производства приборов и устройств электронной техники. Общеизвестно значение материаловедения и технологии в разработке современных изделий, в частности, изделий электроники. Это значение хорошо видно на примере полупроводниковых материалов. Пока не были разработаны
современные способы создания монокристаллических полупроводниковых материалов очень высокой степени чистоты, невозможно было создание приборов и изделий электронной техники с воспроизводимыми, предсказуемыми свойствами. В пособии рассмотрены физикохимия поверхностных явлений, диффузионных процессов, физико-химическая механика, физика полупроводников и другие вопросы, тесно связанные с технологией материалов электроники. В общетехнических курсах материаловедения, читаемых студентам
всех специальностей вузов, не уделяют или уделяют недостаточное внимание таким материалам, как полупроводники, сверхпроводники, активные диэлектрики, композиционные, керамические, полимерные, пленочные, монокристаллические и другие материалы.
Может использоваться студентами специальностей 1211, 1301, 1304, 1306, 1313, 1709 при изучении общих вопросов технологии производства соответствующих машин и агрегатов. Пособие будет полезным студентам МТ, ПС, Э факультетов.
методы создания p−n- переходов и способов легирования (введения примесей) в подложку и другие вопросы производства приборов и устройств электронной техники. Общеизвестно значение материаловедения и технологии в разработке современных изделий, в частности, изделий электроники. Это значение хорошо видно на примере полупроводниковых материалов. Пока не были разработаны
современные способы создания монокристаллических полупроводниковых материалов очень высокой степени чистоты, невозможно было создание приборов и изделий электронной техники с воспроизводимыми, предсказуемыми свойствами. В пособии рассмотрены физикохимия поверхностных явлений, диффузионных процессов, физико-химическая механика, физика полупроводников и другие вопросы, тесно связанные с технологией материалов электроники. В общетехнических курсах материаловедения, читаемых студентам
всех специальностей вузов, не уделяют или уделяют недостаточное внимание таким материалам, как полупроводники, сверхпроводники, активные диэлектрики, композиционные, керамические, полимерные, пленочные, монокристаллические и другие материалы.
Может использоваться студентами специальностей 1211, 1301, 1304, 1306, 1313, 1709 при изучении общих вопросов технологии производства соответствующих машин и агрегатов. Пособие будет полезным студентам МТ, ПС, Э факультетов.