Игумнов В.Н. Физические основы микроэлектроники

Учебное пособие. – Йошкар-Ола: Марийский государственный технический университет, 2010. – 272 с. Представлены базовые понятия квантовой механики, статической физики, физики полупроводников и полупроводниковых приборов, контактные и поверхностные явления и другие фундаментальные положения, необходимые при изучении курса «Физические основы микроэлектроники» и близких ему курсов. Показаны перспективы развития новых направлений микроэлектроники.
Для студентов специальностей 210201.65, 210202.65 и направления 551100, а также студентов родственных специальностей.