Григорьев Л.В. Кремниевая фотоника

Учебно-методическое пособие по практическим работам. — СПб.: Университет ИТМО, 2016. — 93 с. Изложены основы технологии создания интегрально-оптических структур по планарной кремниевой технологии, приведены методы исследования физических свойств интегрально-оптических элементов кремниевой фотоники и микрофотоэлекроники.
Рекомендовано в качестве учебно-методического пособия для магистров высших учебных заверений, обучающихся по направлению подготовки 12.04.03 «Фотоника и оптоинформатика».