Москва, Московский государственный институт электроники и
математики, 2008. - 36 с. В пособии изложены основные
физико-химические процессы протекающие в полимерах при имплантации
ионов и изменение свойств полимеров в результате ионной
имплантации. Рассмотрены ионно-лучевая литография и
плазмохимическое травление полимеров. Кратко рассмотрены
перспективы создания новых электронных устройств и элементов
интегральной оптики на основе ионно-имплантированных полимеров.