ГОСТ Р 52250-2004 Материалы электронной техники. Резисты для литографических процессов. Общие технические условия

Настоящий стандарт распространяется на резисты литографических процессов производства полупроводниковых приборов и интегральных микросхем
Дата введения в действие: 2005-01-01
31 стр.
Утвержден: Постановлением Госстандарта России от 10 марта 2004 г. N 162-ст
Статус: действует
ОКС: 71.080.99
Код ОКП: 249642
Код КГС: Э10
Вид стандарта: Стандарты на методы контроля
Управление Ростехрегулирования: 000 - Управление стандартизации
Технический комитет России: 303 - Изделия электронной техники, материалы и оборудование
Дата последнего издания: 02.07.2004
Организация – Разработчик: Открытое акционерное общество "Российский научно-исследовательский институт "Электронстандарт"; Федеральное государственное унитарное предприятие "22 Центральный научно-исследовательский испытательный институт Министерства обороны РФ"