Учебник для ВУЗов. 2-е изд., перераб. и дополн. — М.: МИСИС, 2003.
— 480 с. — ISBN 5-87623-018-7.
Рассмотрены свойства различных полупроводниковых и диэлектрических
материалов и частично металлов, используемых в твердотельной
электронике. Показано влияние природы химических связей,
химического и фазового состава, атомной структуры и структурных
несовершенств на свойства этих материалов. Проанализированы
различные способы управления этими свойствами, способы легирования
полупроводниковых и диэлектрических фаз, процессы распада
пересыщенных твердых растворов и предраспадные явления, процессы
геттерирования и другие. Рассмотрены фазовые и структурные
превращения и их механизмы при кристаллизации, получении
монокристаллов, поликристаллических и аморфных полупроводников и
диэлектриков, пленок и многослойных гомо- и гетероэпитаксиальных
композиций с заданными свойствами.
Предназначен для студентов вузов, обучающихся по направлению подготовки бакалавров и магистров «Материаловедение и технология новых материалов» и направлению подготовки дипломированных специалистов «Материаловедение, технологии материалов и покрытий». Основные представления о химических связях, строении атомов и свойствах элементарных полупроводников, диэлектриков и металлов.
Химические связи, строение атомов и Периодический закон Д. И. Менделеева.
Основные свойства полупроводников, диэлектриков и металлов.
Структура и свойства веществ с разными типами химических связей. Химические связи, структура и свойства двойных и тройных полупроводниковых и диэлектрических соединений.
Двойные полупроводниковые соединения.
Тройные полупроводниковые соединения.
Диэлектрические соединения.
Аморфные полупроводники. Фазовые равновесия в полупроводниковых, диэлектрических и металлических системах.
Некоторые вопросы термодинамики фазовых равновесий.
Т-Х-диаграммы фазовых равновесий двойных систем с неограниченной растворимостью компонентов.
Т-Х-диаграммы фазовых равновесий двойных систем с ограниченной растворимостью компонентов.
Т-Х-диаграммы фазовых равновесий тройных систем.
Р-Т- и Р-Т-Х-диаграммы фазовых равновесий. Структурные дефекты в твердых телах, примеси, диффузия, легирование: влияние на свойства.
Структурные дефекты в реальных моно- и поликристаллических твердых телах, и типы, источники образования, поведение, влияние на свойства.
Особенности поверхностных явлений в полупроводниковых фазах.
Примеси в полупроводниках и диэлектриках.
Диффузия в материалах твердотельной электроники.
Легирование полупроводников с использованием ядерных реакций и ионных пучков. Фазовые и структурные изменения, упругие напряжения при кристаллизации, пластической деформации, получение поликристаллических пленок, эпитаксиальных и аморфных слоев и их композиций.
Основные положения общей теории образования фаз.
Кристаллизация полупроводников и диэлектриков из расплавов и растворов.
Макронапряжения и пластическая деформация в слитках и эпитаксиальных композициях.
Термическая обработка.
Эпитаксиальные слои, поликристаллические и аморфные пленки. Приложение. Диаграммы фазовых равновесий.
Предназначен для студентов вузов, обучающихся по направлению подготовки бакалавров и магистров «Материаловедение и технология новых материалов» и направлению подготовки дипломированных специалистов «Материаловедение, технологии материалов и покрытий». Основные представления о химических связях, строении атомов и свойствах элементарных полупроводников, диэлектриков и металлов.
Химические связи, строение атомов и Периодический закон Д. И. Менделеева.
Основные свойства полупроводников, диэлектриков и металлов.
Структура и свойства веществ с разными типами химических связей. Химические связи, структура и свойства двойных и тройных полупроводниковых и диэлектрических соединений.
Двойные полупроводниковые соединения.
Тройные полупроводниковые соединения.
Диэлектрические соединения.
Аморфные полупроводники. Фазовые равновесия в полупроводниковых, диэлектрических и металлических системах.
Некоторые вопросы термодинамики фазовых равновесий.
Т-Х-диаграммы фазовых равновесий двойных систем с неограниченной растворимостью компонентов.
Т-Х-диаграммы фазовых равновесий двойных систем с ограниченной растворимостью компонентов.
Т-Х-диаграммы фазовых равновесий тройных систем.
Р-Т- и Р-Т-Х-диаграммы фазовых равновесий. Структурные дефекты в твердых телах, примеси, диффузия, легирование: влияние на свойства.
Структурные дефекты в реальных моно- и поликристаллических твердых телах, и типы, источники образования, поведение, влияние на свойства.
Особенности поверхностных явлений в полупроводниковых фазах.
Примеси в полупроводниках и диэлектриках.
Диффузия в материалах твердотельной электроники.
Легирование полупроводников с использованием ядерных реакций и ионных пучков. Фазовые и структурные изменения, упругие напряжения при кристаллизации, пластической деформации, получение поликристаллических пленок, эпитаксиальных и аморфных слоев и их композиций.
Основные положения общей теории образования фаз.
Кристаллизация полупроводников и диэлектриков из расплавов и растворов.
Макронапряжения и пластическая деформация в слитках и эпитаксиальных композициях.
Термическая обработка.
Эпитаксиальные слои, поликристаллические и аморфные пленки. Приложение. Диаграммы фазовых равновесий.