• формат pdf
  • размер 872 КБ
  • добавлен 08 июля 2010 г.
Гасанов И.С. Плазменная и пучковая технология
Гасанов Ильхам Солтан оглы. Плазменная и пучковая технология. Изд-во: "Элм", Баку 2007, 175 стр.

В книге рассматриваются физические процессы, лежащие в основе работы ионных и плазменных источников, а также их конструкции и функциональные параметры. Описываются методы масс-анализа состава ионных пучков и остаточного газа в вакуумной системе.
Характеризуются механизмы взаимодействия ускоренных ионов и электронов с веществом, способы осаждения тонких пленок, основные применения плазменной технологии.
По содержанию и уровню изложения книга предназначена для научных сотрудников, работающих в области физической электроники, а также может быть рекомендована аспирантам и магистрам соответствующих специальностей.

- Плазменное состояние вещества. Элементарные процессы в плазме
- Способы получения вакуума. Термоэлектронная и автоэлектронная эмиссия
- Системы извлечения заряженных частиц. Пушка Пирса. Конструкция и параметры источников
- Элементы корпускулярной оптики. Влияние пространственного заряда пучков. Линзы и их аберрации
- Плазмооптика. Плазмооптические системы
- Ускорители заряженных частиц
- Электронная, ионная и туннельная микроскопия
- Масс-анализ ионных пучков
- Взаимодействие ускоренных электронов с веществом
- Электронно-лучевая обработка материалов
- Взаимодействие ускоренных ионов с веществом
- Ионное распыление материалов
- Применение ионного распыления
- Изменение электрических свойств твёрдых тел ионной бомбардировкой
- Пучковая металлургия
- Плазменная обработка поверхности материалов. Плазмохимия
- Получение тонких пленок в вакуумных условиях
Похожие разделы
Смотрите также

Бизюков А.А. и др. Испарение макрочастиц в плазме сильноточного импульсного дугового разряда низкого давления

Статья
  • формат pdf
  • размер 370.4 КБ
  • добавлен 22 мая 2011 г.
Статья. Опубликована в журнале ВАНТ 2006. № 5. Сер.: Плазменная электроника и новые методы ускорения (5), с.136-141. Исследуются сильноточные импульсные режимы работы планарной магнетронной распылительной системы (МРС) с образованием на поверхности распыляемой мишени катодных пятен. Технологические испытания показали, что скорость осаждения покрытий зависит от типа разряда в МРС, и эта зависимость в импульсных режимах более сильная, чем в постоян...

Галеев А.А., Судан Р. (ред.) Основы физики плазмы (том 2)

  • формат djv
  • размер 10.75 МБ
  • добавлен 17 октября 2009 г.
Основы физики плазмы: В 2-х т. Т. 1/А. Бернштейн;. Р. Вайт, Г. Вейтцнер и др.; Под ред. А. А. Галеева и Р. Судана. — М.: Энергоатомиздат, 1983. — 640 с. — (Физика плазмы). Содержание: Нелинейные явления и плазменная турбулентность параметрические неустойчивости магнитоактивной плазмы. В. Н. Ораевский. Колмогоровские спектры в задачах слабой турбулентности. В. Е. Захаров. Коллапс и самофокусировка ленгмюровских волн. В. Е. Захаров. Сильная тур...

Захаров А.Н Магнетронные распылительные системы и технологии нанесения энергосберегающих покрытий на архитектурные стекла и полимерные пленки

Дисертация
  • формат rtf
  • размер 5.36 МБ
  • добавлен 02 июля 2011 г.
Автореферет дисс. на соиск. учен. степ. канд. техн. наук. Томск- 2011, 22с. Специальность 05.27.02 - вакуумная и плазменная электроника Работа выполнена в Учреждении Российской академии наук Институте сильноточной электроники Сибирского отделения РАН Цель работы состояла в разработке методов, технологий и эффективного технологического оборудования, в том числе МРС для нанесения энергосберегающих (низкоэмиссионных и электрохромных) тонкопленочн...

Ивановский Г.Ф. Ионно - Плазменная обработка материалов

  • формат djvu
  • размер 82.41 МБ
  • добавлен 12 июля 2010 г.
М.: Радио и связь, 1986, 232 стр. Рассматриваются физико-химические основы и принципы применения ионно-плазменной обработки материалов в вакууме с целью очистки их поверхностей, травления на поверхности структур субмикронного размера, а также получения пленочных покрытий различных материалов. Анализируются основные закономерности и теоретические представления о процессах ионно-плазменной обработки, рассматриваются характеристики оборудования дл...

Каплан С.А., Цытович В.Н. Плазменная астрофизика

  • формат djv
  • размер 5.95 МБ
  • добавлен 24 марта 2010 г.
М.: Издательство "Наука", 1972. - 440 с. (Серия "Проблемы теоретической астрофизики") Фундаментальный труд по физике плазменных процессов во Вселенной. Авторы излагают как общие представления о физике плазмы, так и наблюдательные приложения теории. Содержание: Глава I - Физика плазменной турбулентности Глава II - Спорадическое радиоизлучение Солнца (турбулентные процессы в нерелятивистской плазме) Глава III - Ядра галактик, радиогалактики, кв...

Карчевский А.И. (ред.) Итоги науки и техники: Физика плазмы (том 12)

  • формат djvu
  • размер 1.73 МБ
  • добавлен 17 октября 2009 г.
ВИНИТИ. Москва – 1991 г. Процесс создания газоразрядной плазмы, возбуждения в ней постоянного или ВЧ-тока приводит к развитию в плазме различных физических эффектов, в результате которых наблюдается пространственное разделение изотопов. Первичными причинами разделения изотопов в газоразрядной плазме могут быть и термодиффузионный механизм разделения изотопов, и масс-диффузионный механизм, связанный с переносом тока ионами плазмы. При определенны...

Никитинский В.А., Журавлев Б.И. Технологические источники ионов на основе контагированных разрядов

Статья
  • формат pdf
  • размер 115.98 КБ
  • добавлен 31 марта 2011 г.
Статья. Технология и конструирование в электронной аппаратуре, 2006, № 4, с. 55-58 Обеспечивается создание ускоренных пучков ионов с токами до 0,6 А и энергиями до 5 кэВ с равномерным распределением плотности тока ионов в поперечном сечении пучков площадью от 10~4 до 0,2 м2. Целью настоящей работы является оптимизация разрядной камеры с использованием специфических особенностей ДЭС (двойного электрического слоя).

Пархоменко В.Д. и др. Плазмохимическая технология (Низкотемпературная плазма, том 4)

  • формат djvu
  • размер 7.81 МБ
  • добавлен 08 ноября 2009 г.
Плазмохимическая технология/В. Д. Пархоменко, П. И. Сорока, Ю. И. Краснокутский и др. — Новосибирск: Наука. Сиб отд-ние, 1991 г., — 392 с. — (Низкотемпературная плазма. Т. 4). Монография представляет собой четвертый том серийного издания, посвященного результатам исследований электрофизических, химических, газодинамических и других процессов в низкотемпературной плазме, их диагностике, моделированию я использованию в различных областях науки и т...

Пудовкин М.И. Основы физики космической плазмы

  • формат pdf
  • размер 1.53 МБ
  • добавлен 13 сентября 2011 г.
Курс лекций. Санкт-Петербург, 2009, 151 стр. Содержание: Предмет солнечно-земной физики Движение заряженных частиц в земном поле Движение ведущего центра. Конкретные виды дрейфа Адиабатические инварианты Бетатронное ускорение Ускорение Ферми Относительная жесткость трех инвариантов Движение частиц в магнитной сфере Земли Токи в бесстолкновительной плазме Плазма Плазменная частота. Дебаевский радиус. Потенциал Дебая-Хюккеля Проводимость плазмы...

Auciello O., Flamm D.L. Plasma Diagnostics. Vol.1. Discharge parameters and chemistry

  • формат pdf
  • размер 29.11 МБ
  • добавлен 06 марта 2011 г.
Academic Press, San Diego, 1989, 456 c. В книге рассмотрены различные способы диагностики плазмы: 1) Оптическая диагностика для плазмы низкого давления и плазменных технологий 2) Плазменная диагностика в газоразрядных источниках света 3) Ленгмюровские зонды 4) Масс-спектрометрия плазмы 5) СВЧ диагностика 6) Парамагнитный резонанс как диагностика плазмы 7) Диагностика изотермических плазменных процессов.