Томск: Изд-во НТЛ, 2012. — 112 с. — ISBN 978-5-89503-491-0
В книге рассматриваются физические принципы работы
полупроводниковых газовых сенсоров на основе тонких пленок
металлооксидных полупроводников, кремниевых МОП-структур и
туннельных МОП-диодов. Представлен детальный анализ механизмов
воздействия окислительных и восстановительных газов на
электрические характеристики сенсоров.
Книга предназначена для научных работников, которые занимаются разработкой полупроводниковых газовых сенсоров. Она также может быть использована в качестве учебного пособия для студентов и аспирантов, специализирующихся по твердотельной электронике.
Книга предназначена для научных работников, которые занимаются разработкой полупроводниковых газовых сенсоров. Она также может быть использована в качестве учебного пособия для студентов и аспирантов, специализирующихся по твердотельной электронике.