Пособие. — Минск: БГУИР, 2014. — 48 с.
Пособие содержит описание восьми лабораторных работ и позволяет
получить представления о технологии изготовления широкого класса
интегральных микросхем. При выполнении этих работ студенты могут
изучить технологические процессы и контрольные операции после
различных этапов изготовления интегральных микросхем, получить
практические навыки измерений параметров тестовых структур и
научиться проводить анализ технологического процесса по результатам
этих измерений.
Основано на материале по дисциплинам «Технология изготовления интегральных микросхем» и «Технологические процессы микроэлектроники» специальностей «Микро- и наноэлектронные технологии и системы» и «Квантовые информационные системы».
Может быть полезно при изучении родственных курсов других специальностей. Цель лабораторного практикума.
Последовательность выполнения работ.
Технологические процессы изготовления ИМС.
Тестовый контроль в технологии ИМС.
Структура программы на ПЭВМ.
Требования техники безопасности при работе с измерительным комплексом.
Основано на материале по дисциплинам «Технология изготовления интегральных микросхем» и «Технологические процессы микроэлектроники» специальностей «Микро- и наноэлектронные технологии и системы» и «Квантовые информационные системы».
Может быть полезно при изучении родственных курсов других специальностей. Цель лабораторного практикума.
Последовательность выполнения работ.
Технологические процессы изготовления ИМС.
Тестовый контроль в технологии ИМС.
Структура программы на ПЭВМ.
Требования техники безопасности при работе с измерительным комплексом.