М.: Высшая школа, 1980. — 285 с.: ил.
В книге рассматриваются технология производства гибридных
интегральных схем СВЧ-диапазона (ГИС СВЧ); технология получения
пленочных элементов ГИС СВЧ; сборки и монтажа навесных активных
СВЧ-компонентов, корпусирования ГИС и микросборок СВЧ; маршрутные
схемы получения тонко- и толстопленочных элементов и монтажа
навесных компонентов; основы технологической оптимизации элементов
конструкций ГИС СВЧ; характеристика ГИС СВЧ как объекта
производства.
Учебное пособие предназначается для студентов радиотехнических факультетов и вузов. Предисловие.
Гибридные интегральные схемы СВЧ-диапазона.
Материалы гибридных интегральных схем СВЧ.
Процессы производства ГИС СВЧ.
Технологическая оптимизация конструкции ГИС СВЧ.
Влияние разброса конструкционных параметров на электрические характеристики полосковых линий.
Анализ и технологическая оптимизация параметров конструкций элементов ГИС СВЧ.
Приложения.
Маршрутные технологические процессы изготовления пленочных ГИС СВЧ.
Характеристика основного оборудования, используемого в производстве ГИС СВЧ.
Литература.
Учебное пособие предназначается для студентов радиотехнических факультетов и вузов. Предисловие.
Гибридные интегральные схемы СВЧ-диапазона.
Материалы гибридных интегральных схем СВЧ.
Процессы производства ГИС СВЧ.
Технологическая оптимизация конструкции ГИС СВЧ.
Влияние разброса конструкционных параметров на электрические характеристики полосковых линий.
Анализ и технологическая оптимизация параметров конструкций элементов ГИС СВЧ.
Приложения.
Маршрутные технологические процессы изготовления пленочных ГИС СВЧ.
Характеристика основного оборудования, используемого в производстве ГИС СВЧ.
Литература.