Белова Г.Ф., Мырова Л.О., Попов В.Д. Методические указания к выполнению курсового проекта по курсу Проектирование ИМС

М.: НИЯУ МИФИ, 2000. — 24 с. Кафедра микро- и наноэлектроники.
Тип книги: Методические указания Пособие предназначено для студентов дневного и вечернего обучения, специализирующихся в области микроэлектроники. Содержание:
Введение
Содержание задания курсового проекта
Задание на курсовой проект
График выполнения курсового проекта
Технические требования
Типовая структура элементов
Назначение слоев
Вертикальные размеры типовой структуры, мкм
Электрофизические параметры типовой структуры
Нормы технологического проектирования
Технологический маршрут
Точность воспроизведения размеров, мкм
Методика расчета защитной цепочки
Методика расчета гамма-процентного ресурса