Баранцев Н.С. Формирование тонкопленочных слоев оксидов металлов методом реактивного импульсного лазерного осаждения и исследование их структурных и функциональных свойств

Автореферат диссертации канд. физ.-мат. наук. – Москва: НИЯУ МИФИ, 2009. – 26 с. Специальность 01.04.07– Физика конденсированного состояния
Рук. работы В.Н. Неволин
Не распознано Целью диссертационной работы является установление механизмов формирования оксидов металлов в процессе реактивного импульсного лазерного осаждения при различных значениях основных параметров осаждения и определение влияния этих параметров на химический состав, структуру, оптические и электрические свойства формируемых слоев.
Сама диссертация состоит из введения, четырех глав, заключения, списка литературы, содержит 105 страниц, 47 рисунков, 6 таблицы, список литературы состоит из 77 наименования.