М.: Высшая школа, 1984. — 320 с. Уч. пособие для студентов вузов
специальностей электронной техники.
Содержание.
Основные явления при взаимодействии ускоренных электронов и ионов с твердым телом.
Движение ускоренных электронов в веществе.
Образование радиационных дефектов при облучении ионами.
Изменение электрических свойств твердых тел в результате ионной бомбардировки. Ионная имплантация в полупроводники.
Модификация свойств твердых тел ионной бомбардировкой.
Распыление твердых тел ионами.
Движение ускоренных электронов в веществе.
Основы электронно-лучевой обработки материалов.
Основные явления при взаимодействии ускоренных электронов и ионов с твердым телом.
Движение ускоренных электронов в веществе.
Образование радиационных дефектов при облучении ионами.
Изменение электрических свойств твердых тел в результате ионной бомбардировки. Ионная имплантация в полупроводники.
Модификация свойств твердых тел ионной бомбардировкой.
Распыление твердых тел ионами.
Движение ускоренных электронов в веществе.
Основы электронно-лучевой обработки материалов.