• формат pdf
  • размер 249,46 КБ
  • добавлен 11 января 2013 г.
Железняк А.Г. и др. Магнитно-абразивная обработка подложек, предназначенных для выращивания полупроводниковых структур, и бесконтактный метод контроля качества обработки поверхности
Тезис доклада. 3-я Всероссийская конференция Нитриды галлия, индия и алюминия – структуры и приборы (Москва). Санкт-Петербург, СПбГПУ, 2004. – c. 17-18.
Авторы: А.Г. Железняк, В.Г. Сидоров, А.В. Штурбин, Н.М. Шмидт.
Аннотация:
Удешевление стоимости производства полупроводниковых приборов, в первую очередь светодиодов на базе GaN, за счет совершенствования технологии подготовки подложек.