М.: ЦНИИ «Электроника». - 102 с. (Научно-технический сборник).
Заводы по обработке пластин диаметром 300 мм: переход от опытного к массовому производству.
Новое в технологии обработки пластин кремния большого диаметра для изготовления СБИС.
Состояние и тенденции развития рынка энергонезависимых ИС ЗУ.
Перспективная технология изготовления многослойных ВЧ плат.
Способы получения тонких диэлектрических пленок для ИС.
Фирменное досье: Advanced RISC Machines
Перечень материалов, опубликованных в 1-3 выпусках «Зарубежной электронной техники» за 2000 г.
Качество скана - удовлетворительное (читабельное).
Заводы по обработке пластин диаметром 300 мм: переход от опытного к массовому производству.
Новое в технологии обработки пластин кремния большого диаметра для изготовления СБИС.
Состояние и тенденции развития рынка энергонезависимых ИС ЗУ.
Перспективная технология изготовления многослойных ВЧ плат.
Способы получения тонких диэлектрических пленок для ИС.
Фирменное досье: Advanced RISC Machines
Перечень материалов, опубликованных в 1-3 выпусках «Зарубежной электронной техники» за 2000 г.
Качество скана - удовлетворительное (читабельное).