Автореферат диссертации на соискание ученой
степени кандидата физико-математических наук. Работа выполнена в
отделе микроэлектроники НИИ Ядерной физики имени Д.В.Скобельцына
МГУ имени М.В. Ломоносова. Специальность 01 04 08 – физика плазмы.
Москва, 2011, 24с.
Целью диссертационной работы является исследование
процессов в плазме
высокочастотных емкостных разрядов низкого давления, возбуждаемых на одной (1,76, 27 и
81 МГц) и двух (1,76 МГц – 27 МГц, 1,76 МГц – 81 МГц) частотах. Для данного
исследования был создан ряд моделей движения частиц в плазме, сконструированы и протестированы наборы сечений рассеяния электронов в сложных газах и разработана и
протестирована на экспериментальных данных кинетика процессов в сложных газовых
смесях.
высокочастотных емкостных разрядов низкого давления, возбуждаемых на одной (1,76, 27 и
81 МГц) и двух (1,76 МГц – 27 МГц, 1,76 МГц – 81 МГц) частотах. Для данного
исследования был создан ряд моделей движения частиц в плазме, сконструированы и протестированы наборы сечений рассеяния электронов в сложных газах и разработана и
протестирована на экспериментальных данных кинетика процессов в сложных газовых
смесях.