Визирь А.В. и др. Генератор газометаллической плазмы на основе разряда с инжекцией электронов

Статья. Опубликована в Приборы и техника эксперимента, 2011, №02, с. 73–77 Модернизация разработанного ранее генератора плазмы на основе несамостоятельного газового
разряда с инжекцией электронов обеспечила возможность получения газометаллической плазмы, и соответственно, многоэлементных композиционных (в том числе оксидных) покрытий с регулированием состава и долевого соотношения компонентов. Исследованы характеристики разрядной системы и определены оптимальные пути увеличения скорости осаждения покрытий. Созданное устройство отличается устойчивой работой в атмосфере кислорода в течение длительного срока эксплуатации, а также отсутствием капельной фракции.