
• Изменение степени кристалличности.
• Изменение температуры фазовых переходов.
• Фазовые переходы, инициируемые плазмой.
• Образование микродоменных структур.
• Увеличение эффективной площади поверхности.
• Изменение поверхностной пористости и
проницаемости.
• Изменение коэффициентов диффузии газов и
жидкостей в полимерах.
полимеров.
Замедление миграции
пластификатора к поверхности
материала.
Модифицирование свойств ион-
обменных смол и ион-селективных
мембран.
Дезинфекция поверхности полимера.
Придание полимерам
биосовместимости.
3. Изменение физических свойств поверхностного
слоя.
• Изменение поверхностной энергии.
• Изменение коэффициента поверхностного трения.
• Изменение механических свойств.
• Изменение спектров поглощения в ИК-, УФ- и
видимой областях.
• Изменение поверхностной проводимости,
диэлектрической постоянной и тангенса угла
диэлектрических потерь.
• Накопление поверхностного заряда.
Возрастание прочности,
эластичности и сопротивления
трению.
Уменьшение усадки и
свойлачиваемости шерсти.
Придание несминаемости тканям.
Изменение окраски и блеска
поверхности полимера.
Сглаживание поверхности и
уменьшение поверхностного трения.
Придание требуемых электрических
свойств, включая антистатические.
Травление − это операция повсеместного или локального удаления поверхностных слоев материала с целью
очистки его от загрязнений или придания рельефа его поверхности.
По физико-химическому механизму воздействия частиц низкотемпературной газоразрядной плазмы на
поверхность процессы травления можно разделить на три группы:
1. Ионное травление, при котором поверхностные слои материалов удаляются только в результате физического
распыления. Травление осуществляется энергетическими ионами газов (0,1÷5,0 кэВ), химически не
реагирующими с обрабатываемым материалом (обычно ионами инертных газов).
2. Плазмо-химическое травление, при котором поверхностные слои материалов удаляются в результате химических
реакций. Химические реакции происходят между химически активными частицами и поверхностными атомами с
образованием летучих продуктов.
3. Ионно-химическое травление, при котором поверхностные слои материалов удаляются в результате как
физического распыления энергетическими ионами, так и химических реакций между химически активными частицами и
атомами материалов.
Наиболее широкое применение процесс травления нашел при изготовлении изделий электроники, когда
необходимо в тонких пленках или в поверхностном слое полупроводниковой подложки сформировать топологический
рисунок элементов схемы, существенно уменьшить размеры элементов структур с одновременным увеличением
точности, надежности и автоматизации их производства.
Плазмохимические методы осаждения таких пленок дают возможность наносить тугоплавкие и
многокомпонентные сплавы, диэлектрики, полупроводники, т.е. практически все материалы, изменяя структурные,
механические, электрические, ферромагнитные и другие свойства твердой поверхности.
При ионном напылении пленочное покрытие получается распылением в плазме инертных газов материала
мишени при подаче на нее отрицательного потенциала и бомбардировке ионами плазмы.
При ионно-плазменном напылении происходит нанесение сложных по составу пленочных покрытий
распылением мишени в плазме, содержащей химически активный газ. В этом случае пленки на подложке формируются в
результате химического взаимодействия распыленного материала и активного газа (метана, кислорода, азота).
13. ТЕХНОЛОГИИ ИМПУЛЬСНОГО ВОЗДЕЙСТВИЯ НА МАТЕРИАЛ
13.1. Введение
Технологии с использованием импульсных сильных токов относятся наряду со взрывными (использование
взрывчатки) к высокоскоростным, при которых реализуется интенсивное силовое воздействие на обрабатываемый
объект. Часто объекту при этом сообщается большая скорость, что открывает новые технологические возможности.
Например, появление пластических свойств у хрупких материалов (сплавы молибдена).
К
ТЕХНОЛОГИЯМ, ИСПОЛЬЗУЮЩИМ СИЛЬНЫЕ ИМПУЛЬСНЫЕ ТОКИ, ПРИНАДЛЕЖАТ ЭЛЕКТРОГИДРАВЛИЧЕСКАЯ
(СИЛЬНОТОЧНЫЙ РАЗРЯД В ВОДЕ), ЭЛЕКТРОЭРОЗИОННАЯ И МАГНИТНО-ИМПУЛЬСНАЯ ОБРАБОТКА МАТЕРИАЛОВ (СОЗДАНИЕ
СИЛЬНОГО ИМПУЛЬСНОГО МАГНИТНОГО ПОЛЯ И ОРГАНИЗАЦИЯ СИЛОВОГО ДЕЙСТВИЯ ЭТОГО ПОЛЯ НА ОБРАБАТЫВАЕМЫЙ ОБЪЕКТ
).
Рассмотрим электрофизические основы технологии.