
Так как
erfcQ/)
=
erfe
(
п
"^
)=^Г^
'
"in.V -~6,2-10-
_А,
\ АЛ,„ _
6,2-Ю'
5
то из таблиц для функции erfc находим'
1ц
г/= т=—= 1,95;
J
2
tfDt
/г,
_
17-Ю-
4
1,95
1,95
2|/Дг=-т-^Г=
,
пк
=8,7-10-"сд<;
У"0<
=
4,35-Ю-
4
см.
Выбираем температуру диффузии /
ДИ
ф =
800
о
С.
Для этой тем-
пературы коэффициент диффузии сурьмы
в
германии
D
=
=2
•
10~
и
см
2
/сек. Тогда время диффузии будет равно
19-Ю-
8
1
=
2-10-"
-GO
=
1G0
мин
-
б) Транзисторная структура
Эмиттерный сплав должен обеспечивать хорошую смачиваемость
поверхности германия,
не
растекаться
и
обеспечивать равномерное
проплавление Поэтому основой этого сплава являются свинец
(50%)
и
индий (48%). Легирующие примеси — галлий
(1%) И
сурьма (!%)• Таким образом, сплав имеет состав PblnGaSb.
erfc I -
w
\
Л/,
„
6,2-10
15
= 2,07-10-2;
2VDtJ ^
д
.
б
.э
3-10
w
7=^=1,64;
2
Y
Dt
„
,—
3,5-Ю-
4
2/Dt<=—p^— = 2,14-10-
4
CM;
Dt=l,\4- Ю-
8
см
2
.
Принимаем
<
ДИ
ф
=
760°С.
При
этом коэффициент диффузии
сурьмы D=\0~
n
см
2
/сек.
Время диффузии будет равно
1,14-10-*
U
=
10-11-60 "*=
'
9 мин
-
Для проплавлепия соединительного слоя температура вначале
поднимается до 800° С
и
держится па этом уровне
в
течение
2
мин.
При этой температуре коэффициент диффузии сурьмы равен
£>=2-10-
и
см
2
/сск. При этом ZW=2,4-10-
9
еж
2
.
С учетом изложенного выше время диффузии
при
^=760° С
будет равно
1,1410-»
— 2,4-10-»
'«
=
10 -'
*
• 60
мин.
219