Рис. 2.19. Схема установки для синтеза наноматериалов:
1
– кварцевый реактор;
2
– графитовый нагреватель;
3
– источник реагента;
4
– токовводы;
5
– колокол из стеклоуглерода;
6
– источник тока
температуру подложки, на которую осаждается продукт. Таким образом, в предлагаемом методе пиролиз реагента происхо-
дит в сильно разогретой области вблизи нагревателя. Продукты реакции либо конденсируются на расположенной рядом с
нагревателем подложке, либо удаляются из реакционной зоны вместе с образующимися газами. Другая отличительная осо-
бенность метода заключается в сверхбыстром нагреве паров реагента. Это достигалось максимально близким расположени-
ем охлаждаемого источника реагента к нагревателю.
Рабочей частью нагревателя служил графитовый стержень длиной 50 мм и диаметром 5 мм. Температура нагревателя
варьировалась в диапазоне 1000…2000 °С. В качестве реагента использовался этанол, а также его смеси с водой, глицерином
и ферроценом.
Синтез УНМ производили как с использованием катализатора, так и без него. Каталитической добавкой, вводимой в ре-
акционную газовую смесь, служил ферроцен. В качестве катализатора на подложке использовали тонкие пленки различных
металлов (железа, никеля, кобальта, а также сплава Fe
0,7
Cr
0,2
Ni
0,1
).
Пленки металлов толщиной 100…200 Å осаждали методом термического испарения в вакууме.
Оригинальная конструкция реактора непрерывного действия описана в патенте [16]. Суть патента – способ и аппарату-
ра для производства УНТ, не имеющих дефектов. В основе аппаратуры – создание реакционной камеры, в которой происхо-
дит контактирование каталитических металлических частиц с необходимым количеством углеродсодержащего газа при тем-
пературе, обеспечивающей наиболее эффективный рост УНТ. Предусмотрено устройство, которое (по мере обеднения угле-
родсодержащей среды) дает возможность добавлять углеродсодержащий газ.
В изобретении воплощен способ, когда каталитические частицы экспонируются в различных условиях процессов
выращивания, чем контролируются качество и форма получаемых УНТ.
Ниже рассмотрим устройство основного реактора (рис. 2.20,
а
), который состоит из трех концентрических камер. В
центре аппарата расположена внутренняя секционированная камера
1
для подвода газов на различных стадиях получения
углеродных нанотрубок, далее расположена кольцевая камера
2
, в которой движется слой катализатора.
На периферии расположена секционированная камера вывода газов
3
, участвующая в процессе синтеза и очистки УНТ.
Наружная стенка кольцевой камеры
2
является перфорированной и таким образом обеспечивает проход газов к периферии,
но задерживает катализатор. Внутренняя
1
и внешняя
3
камеры разбиты на секции так, что поступающие газы, необходимые
на различных стадиях синтеза, от входных патрубков
4
–
10
движутся в радиальном направлении к периферии через слой
катализатора и попадают в соответствующие секции внешней камеры
3
, откуда удаляются через выходные патрубки
11 – 17
.
На рис. 2.20,
б
показан разрез
реактора в зоне подвода реагентного газа. В процессе работы реактора частицы катализа-
тора непрерывно подаются в кольцевую полость камеры
2
и движутся к выходному патрубку, последовательно подвергаясь
в разных секциях воздействию следующих газовых потоков, движущихся от центра реактора к его периферии:
1) газ для предварительного нагрева слоя катализатора (инерт под давлением с температурой 500…1200 °С);
2) газ для восстановления катализатора (Н
2
, NH
3
под давлением с температурой 400…800 °С);
3) газ для повторного нагрева после восстановления катализатора (He, Ar, N
2
под давлением с температурой 500…1200
°С);